[实用新型]蒸发源分配装置及蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸发源分配装置(1)，其特征在于，包括盖体(11)与底座(12)，

所述底座(12)包括装配座(121)，所述装配座(121)设有用于通入蒸发源所产生气体的进气口(122)；

所述盖体(11)包括分配部(111)，所述分配部(111)内部设分配腔，所述分配部(111)上间隔地开设多个出气孔(113)，多个所述出气孔(113)连通至所述分配腔；所述盖体(11)与所述装配座(121)装配式连接，所述装配座(121)能盖合于所述分配腔的开放面；所述进气口(122)连通至所述分配腔。

2.如权利要求1所述的蒸发源分配装置，其特征在于，所述盖体(11)在面向所述底座(12)的一侧还设置有连接部(112)，所述盖体(11)通过所述连接部(112)与所述装配座(121)装配式连接。

3.如权利要求1所述的蒸发源分配装置，其特征在于，所述蒸发源分配装置(1)整体呈长条形，所述底座(12)上设两个或两个以上的所述进气口(122)。

4.如权利要求1所述的蒸发源分配装置，其特征在于，所述分配部(111)横截面呈半圆形或半椭圆形，各个出气孔(113)的开设方向均与所述分配部(111)外表面垂直。

5.如权利要求1所述的蒸发源分配装置，其特征在于，所述底座(12)还包括进气管(123)，所述进气口(122)通过所述进气管(123)接通至所述蒸发源。

6.如权利要求1所述的蒸发源分配装置，其特征在于，所述分配部(111)两个端部(114)外形呈圆球面形或椭圆球面形，所述端部(114)开设有呈弧形排列的出气孔(113)，此弧形的弧顶位于端部(114)的中部。

7.如权利要求1所述的蒸发源分配装置，其特征在于，所述分配部(111)上的多个所述出气孔(113)分布为顺所述分配部(111)长度方向轴线方向排列的多排，包括位于中部的中排(S1)，及位于所述中排(S1)一侧的第一侧排(S2)以及第二侧排(S3)，以及相对于所述中排(S1)与所述第一侧排(S2)以及所述第二侧排(S3)对称关系的第三侧排(S4)以及第四侧排(S5)。

8.如权利要求7所述的蒸发源分配装置，其特征在于，所述中排(S1)至所述第一侧排(S2)之间的间距，大于所述第一侧排(S2)至所述第二侧排(S3)之间的间距。

9.如权利要求1至8任一项所述的蒸发源分配装置，其特征在于，所述盖体(11)以及/或者底座(12)材质为金属材料。

10.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括蒸镀腔、设置于所述蒸镀腔内的一个或多个如权利要求1至9任一项所述的蒸发源分配装置。