[实用新型]蒸发源分配装置及蒸镀装置

说明书

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，提供一种蒸发源分配装置及蒸镀装置，蒸发源分配装置包括盖体与底座，底座包括装配座，装配座设有用于通入蒸发源所产生气体的进气口；盖体包括分配部，分配部内部设分配腔，分配部上间隔地开设多个出气孔，出气孔连通至分配腔；盖体与装配座装配式连接，装配座能盖合于分配腔的开放面；进气口连通至分配腔。本申请实施例中蒸发源分配装置的盖体与底座为装配式连接结构，以此形成分体装配式分配装置，方便于在使用中通过拆解进行维护或清洗。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，特别涉及一种蒸发源分配装置及蒸镀装置。

背景技术

随着科技的发展，铜铟镓硒(简称：CIGS)太阳能电池板的应用越来越广泛，CIGS太阳能电池板包括CIGS膜层，且通常使用蒸镀装置来制备CIGS膜层。

蒸镀装置包括蒸镀腔、分配管、金属源蒸发源以及硒源蒸发源。在制备GIGS膜层的过程中，需要将金属源放入金属源蒸发源、硒源放入硒源蒸发源，并将基板以及该金属源蒸发源和硒源蒸发源放入蒸镀腔内，使得金属源蒸发源以及硒源蒸发源均正对基板，分配管与硒源蒸发源连通。之后加热金属源蒸发源，以使得金属源熔化后向基板辐射金属粒子，并加热硒源蒸发源，以使得硒源蒸发出硒蒸汽，该硒蒸汽会进入分配管，并经分配管分配后到达基板，以使得基板上的金属粒子以及硒蒸汽反应形成GIGS膜层。

在真空蒸镀设备中，为了提高蒸发源扩散的均匀性，会采用一些辅助扩散的开孔管状结构，这类管状结构的装置被称作分配器。一般分配器包括分配管以及进气管，分配管上开设有多个出气孔。维护清理时需要非常小心避免磕碰，局部部位甚至无法清理到位，更换频率高，使用成本高。

这类分配器再加工难度大，需要调整蒸发源均匀性时，很难再开孔或封堵孔位。现设备中常见的分配器结构简单，为竖直与水平的管路连接，然后在水平管路上开孔，用于蒸发物质的扩散，受限于水平管路的形状，扩散范围与扩散角度固定，导致大范围检测时，均匀性不佳，被加工镀件上的镀层呈现出一种中间向两侧逐渐变薄的扇形分布。

另外一方面，现有分配装置一般采用耐腐蚀/高温的石英或高分子陶瓷材质。此类材质的耐受性较好，但缺点在于易碎且在温度急剧变化时容易发生应力破损。

实用新型内容

为解决现有技术中蒸发源分配装置不易清理、维护困难的问题，本实用新型的一个主要目的在于，提供一种更易于使用中清理和维护的蒸发源分配装置及蒸镀装置。

本实用新型的另一个主要目的在于克服上述现有技术的分配不均匀的缺陷，提供一种可提供更佳分配效果的蒸发源分配装置及蒸镀装置。

为实现上述实用新型目的，本实用新型采用如下技术方案：

根据本实用新型的一个方面，提供了一种蒸发源分配装置，包括盖体与底座，所述底座包括装配座，所述装配座设有用于通入蒸发源所产生气体的进气口；所述盖体包括分配部，所述分配部内部设分配腔，所述分配部上间隔地开设多个出气孔，所述出气孔连通至所述分配腔；所述盖体与所述装配座装配式连接，所述装配座能盖合于所述分配腔的开放面；所述进气口连通至所述分配腔。通过多个所述出气孔向待加工件表面均匀地送出蒸发源所产生气体。

另一方面，本申请实施例还认为是提供一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括蒸镀腔、设置于所述蒸镀腔内的一个或多个如前所述的蒸发源分配装置。

由上述技术方案可知，本实用新型的蒸发源分配装置及蒸镀装置的优点和积极效果在于：

相比于原有一体式分配管，本申请实施例中盖体与底座为装配式连接结构，以此形成分体装配式分配装置，方便于在使用中通过拆解进行维护或清洗。能直接提升分配装置的清洗效果，并且，假如其中一部分损坏后，可以通过部分更换来进行维修。

附图说明