[实用新型]晶圆平坦化设备研磨头旋转机构有效
| 申请号： | 201920963358.2 | 申请日： | 2019-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN210550361U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 康雷雷;徐海强;夏俊东;谭金辉 | 申请（专利权）人： | 吉姆西半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/07 | 分类号： | B24B37/07;H01L21/304 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214194 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平坦 设备 研磨 旋转 机构 | ||
【权利要求书】：
1.晶圆平坦化设备研磨头旋转机构，其特征包括研磨头旋转机构本体(10)，研磨头旋转机构本体(10)连接研磨头组件(9)，研磨头旋转机构本体(10)设置在研磨盘(11)侧面，研磨盘(11)侧面还设有晶圆装载卸载平台(12)，研磨头旋转机构本体(10)旋转轨迹经过晶圆装载卸载平台(12)和研磨盘(11)中心。
2.如权利要求1所述的晶圆平坦化设备研磨头旋转机构，其特征是所述的研磨头旋转机构本体(10)包括旋转伺服马达(1)、水平移动伺服马达(3)、水平移动驱动丝杆(5)、水平移动导轨(6)、研磨头旋转马达(7)和旋转平台(8)，其中旋转伺服马达(1)连接旋转减速机(2)，旋转减速机(2)驱动连接旋转平台(8)，旋转平台(8)上设水平移动伺服马达(3)，水平移动伺服马达(3)连接水平移动减速机(4)，水平移动减速机(4)驱动连接水平移动驱动丝杆(5)，水平移动驱动丝杆(5)连接研磨头组件(9)和研磨头旋转马达(7)，研磨头组件(9)通过水平移动导轨(6)与旋转平台(8)滑动连接，研磨头旋转马达(7)驱动连接研磨头组件(9)。
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