[实用新型]一种用于晶棒水平晶向定位的测量工具有效
申请号: | 201920963717.4 | 申请日: | 2019-06-25 |
公开(公告)号: | CN210036568U | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 张亮;崔小换;张倩 | 申请(专利权)人: | 麦斯克电子材料有限公司 |
主分类号: | G01B5/24 | 分类号: | G01B5/24;G01B5/00 |
代理公司: | 41120 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) | 代理人: | 罗民健 |
地址: | 471000 河南省洛*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 定位机构 连接机构 固定环 连接环 环套 阻块 螺帽 本实用新型 固定铰支座 调整装置 环形凹槽 量取装置 定位杆 固定柱 连接杆 量取 平晶 连接定位杆 硅单晶棒 物理测量 水平泡 底面 铰接 晶棒 外壁 测量 | ||
1.一种用于晶棒水平晶向定位的测量工具,其特征在于:包括调整装置和量取装置,所述量取装置包括量取盘、水平泡和定位杆,所述量取盘为圆形盘,量取盘表面设有量角刻度,所述水平泡固定于所述量取盘的上表面,量取盘的内部还设有供定位杆通过的通道;所述通道垂直于量取盘中心轴,所述通道还包括第一通道和第二通道,所述第一通道和第二通道均穿过量取盘的圆心,所述第一通道和所述第二通道的内部设有所述定位杆,所述定位杆设置为多个,所述定位杆还通过调整装置调节;
所述调整装置包括调节机构、定位机构和连接机构,所述调节机构包括固定柱、调节螺帽、环套和固定环,所述固定柱为圆柱形,固定柱的底端沿量取盘的中心轴方向垂直连接于量取盘的上表面,固定柱的外壁还设有外螺纹,调节螺帽的内壁设有与所述外螺纹相匹配的内螺纹,所述调节螺帽螺纹连接于固定柱,调节螺帽的外壁还设有一环形凹槽,环形凹槽内设有所述环套,所述环套为圆环状,环套的外壁连接固定环,所述环套通过所述固定环连接所述连接机构;
所述连接机构包括连接杆和连接环,所述连接杆为柱型杆,连接杆的两端还分别连有连接环,连接杆的一端通过连接环铰接于固定环,连接杆的另一端通过连接环连接定位机构;
所述定位机构包括阻块和固定铰支座,所述阻块固定于定位杆的端部,所述阻块为长方体状,阻块顶面连接固定铰支座,所述阻块通过所述固定铰支座连接于所述连接环,阻块底面还连接定位杆。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶棒水平晶向定位的测量工具,其特征在于:所述定位杆设置为相同的四个,所述固定环、连接杆和固定铰支座的数量与定位杆的数量相同,所述连接杆的长度均相同,定位杆的一端分别穿过第一通道和第二通道的通道口设置于第一通道和第二通道的通道内,定位杆的另一端连接阻块,所述阻块设置于第一通道和第二通道的外部。
3.根据权利要求2所述的一种用于晶棒水平晶向定位的测量工具,其特征在于:所述定位杆包括第一定位板和第二定位板,第一定位板和第二定位板均为矩形板,所述第二定位板还垂直连接于第一定位板的底面,第一定位板和第二定位板的横截面还连接为“T”字型。
4.根据权利要求3所述的一种用于晶棒水平晶向定位的测量工具,其特征在于:所述第一通道和第二通道均为可供定位板通过的“T”字型通道。
5.根据权利要求1所述的一种用于晶棒水平晶向定位的测量工具,其特征在于:所述环套的材质为聚四氟乙烯。
6.根据权利要求1所述的一种用于晶棒水平晶向定位的测量工具,其特征在于:所述固定环和所述连接环均为圆环形。
7.根据权利要求1所述的一种用于晶棒水平晶向定位的测量工具,其特征在于:所述量角刻度包括与水平泡垂直的竖直刻度和与水平泡水平方向平行的水平刻度,所述竖直刻度为-90°~90°,所述水平刻度为0°~180°。
8.根据权利要求1所述的一种用于晶棒水平晶向定位的测量工具,其特征在于:所述第一通道和所述第二通道还相互垂直。
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