[实用新型]一种用于晶棒水平晶向定位的测量工具

说明书

本实用新型提供一种用于晶棒水平晶向定位的测量工具，包括调整装置和量取装置，量取装置包括量取盘、水平泡和定位杆，量取盘的内部还设有供定位杆通过的通道，调整装置包括调节机构、定位机构和连接机构，调节机构包括固定柱、调节螺帽、环套和固定环，固定柱为圆柱形，调节螺帽的外壁还设有一环形凹槽，环形凹槽内设有环套，环套通过固定环连接连接机构；连接机构包括连接杆和连接环，连接杆通过连接环铰接于固定环和定位机构；定位机构包括阻块和固定铰支座，阻块通过固定铰支座连接于连接环，阻块底面还连接定位杆。本实用新型弥补了Notch角硅单晶棒水平晶向无法物理测量定位的缺陷。

技术领域

本实用新型属于单晶硅片生产领域，具体涉及一种用于晶棒水平晶向定位的测量工具。

背景技术

本实用新型应用于单晶硅片生产领域，单晶硅棒在切割成单晶硅片之前，需要在粘棒台上对晶棒按照设备计算出来的两个偏转角度进行定向粘接，这两个偏转角度，一个是α水平偏转角度，决定了晶棒的垂直晶向，一个是β垂直偏转角度，决定了晶棒的水平晶向，而粘棒台的β偏转角度是通过编码器旋转进行电子测量的，目前市场上直径6英寸及6英寸以下的单晶硅棒绝大部分都是有参考面的，根据晶棒直径尺寸及客户要求的不同，参考面的宽度也不尽相同，从25-60mm不等，对于这类有晶锭参考面的单晶棒，在粘棒台上粘接后，可以通过木工角度尺，将角度尺直接放到晶锭参考面上物理测量，来验证和复检设备电子测量的偏转角度是否正确，如不正确，则调整β垂直偏转角度到合适再进行粘接。但对于如8英寸和12英寸的单晶硅棒，绝大部分是没有参考面的，用的是Notch角来代替参考面，而Notch的槽又特别小，宽度和深度只有2mm左右，这就造成了木工角度尺无法像测参考面棒一样，直接放到参考面上来测量Notch，这就造成了晶棒的β垂直偏转角度无法进行手动的物理复检，只能依靠电子编码器来定位，而电子编码器存在吸盘打滑、旋转显示角度与实际不符等情况，并且验证晶向的时候只能在粘棒胶固化后使用水平和垂直都能测量的晶棒晶向复检仪进行复检，目前这种水平垂直都能复检的复检仪售价普遍在24万元以上。即使使用这种设备，粘棒胶固化需要1个小时左右，如果粘接角度有误，需要重新把晶棒烤掉重新粘接，中间的过程需要耗费5个小时左右；而对于晶棒晶向复检仪来说，只能复检垂直晶向的复检仪，只需要7万元。晶棒烤掉重粘耽误了生产效率，晶棒在烤掉重粘的过程中存在炸裂的风险，并且需要配合24万的双晶向复检仪使用，否则完全无法验证水平晶向的值，一旦粘接的β垂直偏转角度错误，就会造成切片后水平晶向超标，硅片报废，造成无法挽回的损失。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供一种用于晶棒水平晶向定位的测量工具，弥补了Notch角硅单晶棒水平晶向无法物理测量定位的缺陷。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种用于晶棒水平晶向定位的测量工具，其特征在于：包括调整装置和量取装置，所述量取装置包括量取盘、水平泡和定位杆，所述量取盘为圆形盘，量取盘表面设有量角刻度，所述水平泡固定于所述量取盘的上表面，量取盘的内部还设有供定位杆通过的通道；所述通道垂直于量取盘中心轴，所述通道还包括第一通道和第二通道，所述第一通道和第二通道均穿过量取盘的圆心，所述第一通道和所述第二通道的内部设有所述定位杆，所述定位杆设置为多个，所述定位杆还通过调整装置调节；所述调整装置包括调节机构、定位机构和连接机构，所述调节机构包括固定柱、调节螺帽、环套和固定环，所述固定柱为圆柱形，固定柱的底端沿量取盘的中心轴方向垂直连接于量取盘的上表面，固定柱的外壁还设有外螺纹，调节螺帽的内壁设有与所述外螺纹相匹配的内螺纹，所述调节螺帽螺纹连接于固定柱，调节螺帽的外壁还设有一环形凹槽，环形凹槽内设有所述环套，所述环套为圆环状，环套的外壁连接固定环，所述环套通过所述固定环连接所述连接机构；所述连接机构包括连接杆和连接环，所述连接杆为柱型杆，连接杆的两端还分别连有连接环，连接杆的一端通过连接环铰接于固定环，连接杆的另一端通过连接环连接定位机构；所述定位机构包括阻块和固定铰支座，所述阻块固定于定位杆的端部，所述阻块为长方体状，阻块顶面连接固定铰支座，所述阻块通过所述固定铰支座连接于所述连接环，阻块底面还连接定位杆。