[实用新型]一种晶圆清洗装置

权利要求书

1.一种晶圆清洗装置，包括：清洗箱体以及设置在所述清洗箱体外壁上的光学传感器，其特征在于，所述的清洗箱体上设有安装孔，用于检测清洗箱体内晶圆有无的光学传感器安装在所述安装孔上，所述的光学传感器与所述清洗箱体内部之间通过2～20mm的安装板隔开。

2.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述的清洗箱体为兆声清洗装置中的清洗箱体、清洗输入装置中的清洗箱体、缓冲装置中的清洗箱体、刷洗装置中的清洗箱体中一个或多个。

3.根据权利要求2所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述的清洗箱体为兆声清洗装置中的清洗箱体，为兆声清洗箱体，所述的兆声清洗箱体上设有液位检测机构，所述的液位检测机构包括设置在所述兆声清洗箱体外壁上的多个未贯通孔，所述未贯通孔留有2mm～20mm的内壁，所述的多个未贯通孔上设置有多个非接触式电容传感器。

4.根据权利要求3所述的晶圆清洗装置，其特征在于，距离所述兆声清洗箱体顶部10～400mm处安装第一个非接触式电容传感器，所述的多个非接触式电容传感器为3～6个。

5.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述的光学传感器包括光学传感器光源和光学传感器接收端。

6.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述的安装孔可以确保光源的光线无阻碍穿过。

7.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述的安装孔为与所述清洗箱体内部不贯通的安装孔，所述的2～20mm的安装板为该安装孔所留在清洗箱体上的2～20mm的内壁。

8.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述的安装孔为贯通的安装孔，所述的2～20mm的安装板为密封在该安装孔上的2～20mm的有机玻璃板。

9.根据权利要求8所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述的有机玻璃板的厚度为2mm～10mm。

10.根据权利要求8所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述的有机玻璃板与所述清洗箱体之间装有密封圈。