[实用新型]一种真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构

权利要求书

1.一种真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构，应用于真空磁控溅射设备，所述真空磁控溅射设备至少包括盖板、平面阴极体、夹在所述盖板与所述平面阴极体之间的绝缘垫，所述盖板与平面阴极体之间还设置有用于冷却所述平面阴极体的进水管和出水管，其特征在于：所述进水管和出水管都套设有第一绝缘套，所述第一绝缘套包括连接在所述盖板上的第一保护套、以及连接在所述平面阴极体上的第二保护套，所述第一保护套和第二保护套都为管形且轴侧端部相抵触，所述真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构还包括第二绝缘套，所述进水管和出水管都设置在同一个所述第二绝缘套中，所述第二绝缘套包括至少两个弧形的绝缘片，这些所述绝缘片拼成一个环形。

2.根据权利要求1所述的真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构，其特征在于：所述第二绝缘套轴向长度等于所述盖板与平面阴极体的间距。

3.根据权利要求1所述的真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构，其特征在于：所述第二绝缘套由两个所述绝缘片拼接而成。

4.根据权利要求1所述的真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构，其特征在于：各个所述绝缘片的形状尺寸都相同。

5.根据权利要求1所述的真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构，其特征在于：所述第二绝缘套的外周套设有用于固定各个所述绝缘片的喉箍。

6.根据权利要求1所述的真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构，其特征在于：所述第一保护套和第二保护套都由柔性的绝缘材料制成，所述第一保护套的轴向长度与所述第二保护套轴向长度之和不小于所述盖板与平面阴极体的间距。

7.根据权利要求1所述的真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构，其特征在于：所述第一保护套远离所述第二保护套的端部设置有用于与所述盖板连接的第一连接法兰，所述第二保护套远离所述第一保护套的端部设置有用于与所述平面阴极体连接的第二连接法兰。

8.根据权利要求1所述的真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构，其特征在于：两个所述第一绝缘套都被包覆在所述第二绝缘套内。

9.根据权利要求1所述的真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构，其特征在于：所述第二绝缘套由POM材料制成。