[实用新型]一种真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构

说明书

本实用新型公开了一种真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构，应用于真空磁控溅射设备，真空磁控溅射设备至少包括盖板、平面阴极体、夹在盖板与平面阴极体之间的绝缘垫，盖板与平面阴极体之间还设置有用于冷却平面阴极体的进水管和出水管，进水管和出水管都套设有第一绝缘套，第一绝缘套包括连接在盖板上的第一保护套、以及连接在平面阴极体上的第二保护套，第一保护套和第二保护套都为管形且轴侧端部相抵触，真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构还包括第二绝缘套，进水管和出水管都设置在同一个第二绝缘套中，第二绝缘套包括至少两个弧形的绝缘片。第二绝缘套能够阻隔盖板与平面阴极体导通，且其拆卸安装都较为简单，缩短了维护时间。

技术领域

本实用新型涉及一种真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构。

背景技术

真空磁控溅射镀膜玻璃采用卧式真空磁控溅射镀膜设备进行镀膜，在连续生产过程中，平面阴极体处于真空环境中，在工艺气体电离后的撞击靶材在玻璃表面沉积形成单层金属膜。平面阴极体需要与盖板绝缘处理，当平面阴极体绝缘失效时，阴极体短路导致无法溅射靶材，从而无法形成膜层。盖板与平面阴极体之间连接有用于冷却平面阴极体的水管，由于水管并不绝缘，因此需要对此处进行绝缘处理，现有技术的绝缘结构拆卸难度大，可维护性差。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构，其结构简单、容易拆卸，便于真空磁控溅射设备的维护和保养。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构，应用于真空磁控溅射设备，所述真空磁控溅射设备至少包括盖板、平面阴极体、夹在所述盖板与所述平面阴极体之间的绝缘垫，所述盖板与平面阴极体之间还设置有用于冷却所述平面阴极体的进水管和出水管，所述进水管和出水管都套设有第一绝缘套，所述第一绝缘套包括连接在所述盖板上的第一保护套、以及连接在所述平面阴极体上的第二保护套，所述第一保护套和第二保护套都为管形且轴侧端部相抵触，所述真空磁控溅射平面阴极体的绝缘结构还包括第二绝缘套，所述进水管和出水管都设置在同一个所述第二绝缘套中，所述第二绝缘套包括至少两个弧形的绝缘片，这些所述绝缘片拼成一个环形。

优选地，所述第二绝缘套轴向长度等于所述盖板与平面阴极体的间距。

优选地，所述第二绝缘套由两个所述绝缘片拼接而成。

优选地，各个所述绝缘片的形状尺寸都相同。

优选地，所述第二绝缘套的外周套设有用于固定各个所述绝缘片的喉箍。

优选地，所述第一保护套和第二保护套都由柔性的绝缘材料制成，所述第一保护套的轴向长度与所述第二保护套轴向长度之和不小于所述盖板与平面阴极体的间距。

优选地，所述第一保护套远离所述第二保护套的端部设置有用于与所述盖板连接的第一连接法兰，所述第二保护套远离所述第一保护套的端部设置有用于与所述平面阴极体连接的第二连接法兰。

优选地，两个所述第一绝缘套都被包覆在所述第二绝缘套内。

优选地，所述第二绝缘套由POM材料制成。

由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：第二绝缘套能够阻隔盖板与平面阴极体导通，当第二绝缘套上积累了相当数量的溅射物、平面阴极体被导通时，则更换第二绝缘套，由于第二绝缘套是多个绝缘片拼接成的，因此其拆卸安装都较为简单，无需将平面阴极体从盖板上拆下，提高了维护效率，而且第一绝缘套在第二绝缘套的保护下，不易有溅射物积累，因此第一绝缘套可以长期免于更换，缩短了维护时间。

附图说明

附图1为真空磁控溅射设备的结构示意图；

附图2为安装有绝缘结构的真空磁控溅射设备的局部放大示意图；

附图3为绝缘片的轴测示意图；