[实用新型]一种高温气相沉积炉体结构有效
| 申请号： | 201920978668.1 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN210261955U | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 李丙科 | 申请（专利权）人： | 无锡松煜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/56;C23C16/00 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高温 沉积 结构 | ||
1.一种高温气相沉积炉体结构，包括高温炉体(1)、炉口护罩(7)以及炉尾护罩(15)，其特征在于：所述高温炉体(1)内壁上安装石英管(2)，所述高温炉体(1)外侧面上设置保温组件，所述石英管(2)内套接石英衬管(3)，所述石英管(2)两端均安装进气管(4)，位于炉口处的所述进气管(4)安装在炉口法兰(6)上，位于炉尾处的所述进气管(4)一端延伸至石英管(2)内中间位置，所述进气管(4)一侧的石英衬管(3)内安装热偶套管(5)，所述热偶套管(5)一端贯穿炉尾法兰(14)，所述炉口护罩(7)安装在炉口法兰(6)一侧，所述炉口法兰(6)通过炉体把扣环(10)与高温炉体(1)相连接，所述炉口护罩(7)内壁上安装散热管托板(8)，所述散热管托板(8)内壁上安装螺旋散热管(9)，所述高温炉体(1)外表面两侧对称安装炉体支撑一(11)以及炉体支撑二(16)，所述炉尾护罩(15)安装在炉尾法兰(14)一侧，所述炉尾护罩(15)通过炉尾法兰(14)与高温炉体(1)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种高温气相沉积炉体结构，其特征在于：所述炉口法兰(6)一侧安装方法兰(12)，所述炉口法兰(6)与方法兰(12)结合处安装O型密封圈(13)，所述O型密封圈(13)与石英管(2)外侧面紧密贴合。
3.根据权利要求1所述的一种高温气相沉积炉体结构，其特征在于：所述保温组件包括保温岩棉垫(17)、第一螺纹杆(18)以及第二螺纹杆(19)，所述第一螺纹杆(18)镶嵌在保温岩棉垫(17)一侧表面，所述第二螺纹杆(19)镶嵌在保温岩棉垫(17)另一侧表面上，所述第一螺纹杆(18)下端贯穿炉体支撑一(11)，所述第二螺纹杆(19)下端贯穿炉体支撑二(16)。
4.根据权利要求3所述的一种高温气相沉积炉体结构，其特征在于：所述第一螺纹杆(18)下端安装第一锁紧螺母，所述第二螺纹杆(19)下端安装第二锁紧螺母。
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