[实用新型]一种高温气相沉积炉体结构

说明书

本实用新型公开了一种高温气相沉积炉体结构，包括高温炉体、炉口护罩以及炉尾护罩，高温炉体内壁上安装石英管，高温炉体外侧面上设置保温组件，石英管内套接石英衬管，石英管两端均安装进气管，位于炉口处的进气管安装在炉口法兰上，位于炉尾处的进气管一端延伸至石英管内中间位置，进气管一侧的石英衬管内安装热偶套管，炉口护罩安装在炉口法兰一侧，炉口法兰通过炉体把扣环与高温炉体相连接，炉口护罩内壁上安装散热管托板，散热管托板内壁上安装螺旋散热管，高温炉体外表面两侧对称安装炉体支撑一以及炉体支撑二，炉尾护罩安装在炉尾法兰一侧，本实用新型能够提高密封件的密封性和使用寿命，以保证石英管内部的真空度。

技术领域

本实用新型涉及气相沉积技术领域，特别涉及一种高温气相沉积炉体结构。

背景技术

气相沉积技术是利用气相中发生的物理、化学过程，在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层。气相沉积技术按照成膜机理，可分为化学气相沉积、物理气相沉积和等离子体气相沉积，沉积炉是气相沉积技术中必不可少的重要器械。

但是现有技术中，沉积炉和石英舟都比较短，单一的炉口进气即可满足要求，但增大产量后石英舟长度增加，炉口进气到了石英舟尾部后工艺气体过多消耗，影响化学气体的沉积效果，同时沉积炉长时间使用，热量极易流失，影响反应效率。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种高温气相沉积炉体结构，为了解决上述技术沉积炉和石英舟都比较短，单一的炉口进气即可满足要求，但现在需要增大产量，石英舟长度增加，炉口进气的话很可能到了石英舟尾部后工艺气体过多消耗，影响化学气体的沉积效果，同时沉积炉长时间使用，热量极易流失，影响反应效率的问题，本实用新型的技术方案为：

一种高温气相沉积炉体结构，包括高温炉体、炉口护罩以及炉尾护罩，所述高温炉体内壁上安装石英管，所述高温炉体外侧面上设置保温组件，所述石英管内套接石英衬管，所述石英管两端均安装进气管，位于炉口处的所述进气管安装在炉口法兰上，位于炉尾处的所述进气管一端延伸至石英管内中间位置，所述进气管一侧的石英衬管内安装热偶套管，所述热偶套管一端贯穿炉尾护罩，所述炉口护罩安装在炉口法兰一侧，所述炉口法兰通过炉体把扣环与高温炉体相连接，所述炉口护罩内壁上安装散热管托板，所述散热管托板内壁上安装螺旋散热管，所述高温炉体外表面两侧对称安装炉体支撑一以及炉体支撑二，所述炉尾护罩安装在炉尾法兰一侧，所述炉尾护罩通过炉尾法兰与高温炉体固定连接。

优选的，所述炉口法兰一侧安装方法兰，所述炉口法兰与方法兰结合处安装O型密封圈，所述O型密封圈与石英管外侧面紧密贴合。

优选的，所述保温组件包括保温岩棉垫、第一螺纹杆以及第二螺纹杆，所述第一螺纹杆镶嵌在保温岩棉垫一侧表面，所述第二螺纹杆镶嵌在保温岩棉垫另一侧表面上，所述第一螺纹杆下端贯穿炉体支撑一，所述第二螺纹杆下端贯穿炉体支撑二。

优选的，所述第一螺纹杆下端安装第一锁紧螺母，所述第二螺纹杆下端安装第二锁紧螺母。

采用上述技术方案，由于添加了进气管、石英管以及石英衬管，使得本装置具有及密封件的密封性和使用寿命，以保证石英管内部的真空度，同时避免抽真空时炉口进气被直接抽走的情况出现，造成工艺气体过度消耗，解决了原有石英舟长度增加，炉口进气的话很可能到了石英舟尾部后工艺气体过多消耗的问题。

由于添加了保温岩棉垫、第一螺纹杆以及第二螺纹杆，使得保温岩棉垫能够快速铺设在高温炉体表面，降低了高温炉体内热量的发散速度，保证了化学气体的附着效率，解决了原有沉积炉长时间使用，热量极易流失，影响化学气体附着效率的问题。

附图说明

图1为本实用新型的立体剖面示意图；

图2为本实用新型的主视剖面图；

图3为图2中A处的放大结构示意图；