[实用新型]一种全自动研磨机有效
申请号: | 201920988379.X | 申请日: | 2019-06-28 |
公开(公告)号: | CN210189373U | 公开(公告)日: | 2020-03-27 |
发明(设计)人: | 胡敬祥;高盼盼;黄郁声 | 申请(专利权)人: | 深圳方达半导体装备有限公司 |
主分类号: | B24B27/00 | 分类号: | B24B27/00;B24B55/06;B24B41/00;B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B37/013 |
代理公司: | 深圳市查策知识产权代理事务所(普通合伙) 44527 | 代理人: | 曾令安 |
地址: | 518106 广东省深圳市光明新区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 全自动 研磨机 | ||
1.一种全自动研磨机,包括:底座、电控箱组件和研磨总成,所述电控箱组件和所述研磨总成均设置在所述底座上,其特征在于,所述研磨总成包括:用以固定工件的转盘组件、气悬浮垫盘、用以转运工件的转运组件、用以打磨工件的打磨组件、用以清洗转盘的刷洗盘组件和用以检测工件厚度的检测组件,所述转盘组件设置在底座上,所述转盘组件上具有装卸工位、粗加工工位和精加工工位,所述气悬浮垫盘设置在转盘组件与底座之间,所述转盘组件与驱动电机传动连接,所述驱动电机通过升降组件与底座固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种全自动研磨机,其特征在于:所述转盘组件包括:转盘、设置在转盘上的转台、驱动转台转动的转台电机,所述转台电机设置在转盘底部,所述驱动电机与转盘固定连接,所述转台上还设有真空吸附装置,所述真空吸附装置通过旋转接头与气泵连通。
3.根据权利要求2所述的一种全自动研磨机,其特征在于:底座通过定位组件与转盘进行定位。
4.根据权利要求1所述的一种全自动研磨机,其特征在于:所述底座上安装有设置有滑轨的支架,所述转运组件包括入料机械手和出料机械手,所述入料机械手和所述出料机械手均与滑轨滑动连接,所述入料机械手包括:与滑轨滑动连接的第一横向驱动机构,与第一横向驱动机构固定设置的第一升降机构,与第一升降机构固定连接的第一转向机构,与转向机构固定连接的第一伸缩气缸,所述第一伸缩气缸水平设置,所述第一伸缩气缸端部设有入料吸附装置;所述出料机械手包括:与滑轨滑动连接的第二横向驱动机构,与第二横向驱动机构固定设置的第二升降机构,与第二升降机构固定连接的第二转向机构,与转向机构固定连接的第二伸缩气缸,所述第二伸缩气缸水平设置,所述第二伸缩气缸端部设有出料吸附装置。
5.根据权利要求4所述的一种全自动研磨机,其特征在于:所述底座上设有入料放置台和出料放置台,所述入料放置台到第一转向机构转轴的距离等于装卸工位到第一转向机构转轴的距离,所述出料放置台到第二转向机构转轴的距离等于装卸工位到第二转向机构转轴的距离。
6.根据权利要求5所述的一种全自动研磨机,其特征在于:其特征在于所述底座上还安装有转运机器人,所述底座上还设有防护壳,所述防护壳外设有存料台,所述存料台防护壳固定设置。
7.根据权利要求1所述的一种全自动研磨机,其特征在于:所述打磨组件包括:粗磨气浮平台和精磨气浮平台,所述粗磨气浮平台包括粗磨气浮座、安装在粗磨气浮座上的粗磨升降气缸、固定在粗磨升降气缸端部的粗磨电机和设置在粗磨电机端部的粗磨盘,所述粗磨盘、粗磨电机和粗磨升降气缸均设置在粗加工工位上方;所述精磨气浮平台包括精磨气浮座、安装在精磨气浮座上的精磨升降气缸、固定在精磨升降气缸端部的精磨电机和设置在精磨电机端部的精磨盘,所述精磨盘、精磨电机和精磨升降气缸均设置在精加工工位上方。
8.根据权利要求5所述的一种全自动研磨机,其特征在于:所述刷洗盘组件设置在装卸工位正上方,所述刷洗盘组件包括:与滑轨滑动连接的第三横向驱动机构、与第三横向驱动机构固定设置的第三升降机构及设置在第三升降机构端部的刷洗盘。
9.根据权利要求7所述的一种全自动研磨机,其特征在于:所述检测组件包括粗磨测厚仪和精磨测厚仪,所述粗磨测厚仪设置在粗加工工位旁的底座上,所述精磨测厚仪设置在精加工工位旁的底座上。
10.根据权利要求9所述的一种全自动研磨机,其特征在于:粗磨盘打磨产品时所述粗磨盘至少覆盖产品的一条半径,精磨盘打磨产品时所述精磨盘至少覆盖产品的一条半径,所述粗磨测厚仪的粗磨检测端与粗磨盘并列设置在粗加工工位上方,所述精磨测厚仪的精磨检测端与精磨盘并列设置在精加工工位上方。
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