[实用新型]一种全自动研磨机

说明书

本实用新型涉及研磨技术领域，具体涉及一种全自动研磨机。包括：底座、电控箱组件和研磨总成，所述电控箱组件和所述研磨总成均设置在所述底座上，其特征在于，所述研磨总成包括：用以固定工件的转盘组件、气悬浮垫盘、转运组件、打磨组件、刷洗盘组件和检测组件，所述转盘组件设置在底座上，所述转盘组件上具有装卸工位、粗加工工位和精加工工位，所述气悬浮垫盘设置在转盘组件与底座之间，所述转盘组件与驱动电机传动连接，所述驱动电机通过升降组件与底座固定连接。本实用新型通过采用研磨和测厚同时进行，缩短检测时间提升加工效率，通过设置气悬浮垫盘配合定位组件能够将转盘进行转动使得转台实现精准定位进行加工。

技术领域

本实用新型涉及研磨技术领域，具体涉及一种全自动研磨机。

背景技术

优质硅片是制造太阳能电池的原始材料，为了使硅片平整，并消除切割过程中所造成的损伤，获得完美的衬底材料，硅片必须要经过研磨，才有可能制出合格的器件，因此，硅片研磨机是太阳能电池硅片制造领域中必不可少的一种装置。现有的大尺寸研磨机具有一定缺陷，1、不能实现完全自动化，2、对于大尺寸硅片研磨后需要进行检测工程会比较繁琐，3、流水线式硅片研磨方式不易进行精准定位，4、高速研磨对驱动电机要求比较高，造价比较高昂。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术的不足和缺陷，提供一种盘式全自动硅片自动研磨机。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种全自动研磨机，包括：底座、电控箱组件和研磨总成，所述电控箱组件和所述研磨总成均设置在所述底座上，所述研磨总成包括：用以固定工件的转盘组件、气悬浮垫盘、用以转运工件的转运组件、用以打磨工件的打磨组件、用以清洗转盘的刷洗盘组件和用以检测工件厚度的检测组件，所述转盘组件设置在底座上，所述转盘组件上具有装卸工位、粗加工工位和精加工工位，所述气悬浮垫盘设置在转盘组件与底座之间，所述转盘组件与驱动电机传动连接，所述驱动电机通过升降组件与底座固定连接。

具体的，所述转盘组件包括：转盘、设置在转盘上的转台、驱动转台转动的转台电机，所述转台电机设置在转盘底部，所述驱动电机与转盘固定连接，所述转台上还设有真空吸附装置，所述真空吸附装置通过旋转接头与气泵连通。

具体的，底座通过定位组件与转盘进行定位。

具体的，所述底座上安装有设置有滑轨的支架，所述转运组件包括入料机械手和出料机械手，所述入料机械手和所述出料机械手均与滑轨滑动连接，所述入料机械手包括：与滑轨滑动连接的第一横向驱动机构，与第一横向驱动机构固定设置的第一升降机构，与第一升降机构固定连接的第一转向机构，与转向机构固定连接的第一伸缩气缸，所述第一伸缩气缸水平设置，所述第一伸缩气缸端部设有入料吸附装置；所述出料机械手包括：与滑轨滑动连接的第二横向驱动机构，与第二横向驱动机构固定设置的第二升降机构，与第二升降机构固定连接的第二转向机构，与转向机构固定连接的第二伸缩气缸，所述第二伸缩气缸水平设置，所述第二伸缩气缸端部设有出料吸附装置。

具体的，所述底座上设有入料放置台和出料放置台，所述入料放置台到第一转向机构转轴的距离等于装卸工位到第一转向机构转轴的距离，所述出料放置台到第二转向机构转轴的距离等于装卸工位到第二转向机构转轴的距离。

具体的，其特征在于所述底座上还安装有转运机器人，所述底座上还设有防护壳，所述防护壳外设有存料台，所述存料台防护壳固定设置。

具体的，所述打磨组件包括：粗磨气浮平台和精磨气浮平台，所述粗磨气浮平台包括粗磨气浮座、安装在粗磨气浮座上的粗磨升降气缸、固定在粗磨升降气缸端部的粗磨电机和设置在粗磨电机端部的粗磨盘，所述粗磨盘、粗磨电机和粗磨升降气缸均设置在粗加工工位上方；所述精磨气浮平台包括精磨气浮座、安装在精磨气浮座上的精磨升降气缸、固定在精磨升降气缸端部的精磨电机和设置在精磨电机端部的精磨盘，所述精磨盘、精磨电机和精磨升降气缸均设置在精加工工位上方。