[实用新型]一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置

权利要求书

1.一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，包括收集槽(1)，其特征在于，所述收集槽(1)底部内壁上通过支架安装有漏屑板(3)，且漏屑板(3)的四边外壁与收集槽(1)的内壁粘接，所述收集槽(1)的一侧内壁上通过螺丝固定有超声波发生器(2)，所述收集槽(1)的底部内壁上连接有螺纹软管(4)，且螺纹软管(4)的中部对夹安装有阀门(5)，所述螺纹软管(4)的底部连接有顶部开口的收集筒(6)，且收集筒(6)的顶部卡接于过滤机构(7)，所述收集筒(6)一侧外壁的底部位置处连接有水泵(8)，且水泵(8)通过导管连接有固定于收集槽(1)顶部一侧的水龙头(9)，所述水龙头(9)的出水端通过螺纹连接有喷头(10)。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，其特征在于，所述漏屑板(3)为底部凹陷的球壳状结构，且漏屑板(3)上开设有等距离分布的漏屑孔，漏屑孔的孔径为2-5mm。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，其特征在于，所述过滤机构(7)包括从上往下依次套接的第一滤筒(12)、第二滤筒(13)和第三滤筒(14)，且第一滤筒(12)、第二滤筒(13)和第三滤筒(14)的直径依次增大，所述第一滤筒(12)、第二滤筒(13)和第三滤筒(14)上均开设有过滤孔，且第一滤筒(12)、第二滤筒(13)和第三滤筒(14)过滤孔的孔径依次减小。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，其特征在于，所述第一滤筒(12)顶部焊接有盖板(11)，且盖板(11)与收集筒(6)的顶部相卡接，所述盖板(11)顶部开设有插接孔，且螺纹软管(4)插接于插接孔内。

5.根据权利要求3所述的一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，其特征在于，所述第一滤筒(12)和第二滤筒(13)两侧外壁的底部位置处均焊接有弹性金属挂钩(16)，且第二滤筒(13)和第三滤筒(14)顶部外壁的两侧均焊接有与弹性金属挂钩(16)相挂接的吊耳(15)。

6.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，其特征在于，所述超声波发生器(2)和水泵(8)均连接有开关，且开关连接有PLC控制器，开关和PLC控制器均固定于收集槽(1)的一侧外壁上。