[实用新型]一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置

说明书

本实用新型公开了一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，包括收集槽，所述收集槽底部内壁上通过支架安装有漏屑板，且漏屑板的四边外壁与收集槽的内壁粘接，所述收集槽的一侧内壁上通过螺丝固定有超声波发生器，所述收集槽的底部内壁上连接有螺纹软管，且螺纹软管的中部对夹安装有阀门，所述螺纹软管的底部连接有顶部开口的收集筒，且收集筒的顶部卡接于过滤机构，所述收集筒一侧外壁的底部位置处连接有水泵，且水泵通过导管连接有固定于收集槽顶部一侧的水龙头，所述水龙头的出水端通过螺纹连接有喷头。本实用新型能够冲洗并通过超声波清理碳化硅晶片上附着的碎屑，能够过滤和收集碎屑，避免碎屑四处飞舞，避免造成环境污染。

技术领域

本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，尤其涉及一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置。

背景技术

金刚砂又名碳化硅(SiC)是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅在大自然也存在罕见的矿物，莫桑石。碳化硅又称碳硅石。在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中，碳化硅为应用最广泛、最经济的一种，可以称为金钢砂或耐火砂。目前中国工业生产的碳化硅分为黑色碳化硅和绿色碳化硅两种，均为六方晶体，比重为 3.20～3.25，显微硬度为2840～3320kg/mm²。

现有的碳化硅晶片在抛光过程中的废屑没有设置收集装置，容易造成碎屑随着风力四处飞舞，不仅难以清理，而且容易造成空气环境污染。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，包括收集槽，所述收集槽底部内壁上通过支架安装有漏屑板，且漏屑板的四边外壁与收集槽的内壁粘接，所述收集槽的一侧内壁上通过螺丝固定有超声波发生器，所述收集槽的底部内壁上连接有螺纹软管，且螺纹软管的中部对夹安装有阀门，所述螺纹软管的底部连接有顶部开口的收集筒，且收集筒的顶部卡接于过滤机构，所述收集筒一侧外壁的底部位置处连接有水泵，且水泵通过导管连接有固定于收集槽顶部一侧的水龙头，所述水龙头的出水端通过螺纹连接有喷头。

优选的，所述漏屑板为底部凹陷的球壳状结构，且漏屑板上开设有等距离分布的漏屑孔，漏屑孔的孔径为2-5mm。

优选的，所述过滤机构包括从上往下依次套接的第一滤筒、第二滤筒和第三滤筒，且第一滤筒、第二滤筒和第三滤筒的直径依次增大，所述第一滤筒、第二滤筒和第三滤筒上均开设有过滤孔，且第一滤筒、第二滤筒和第三滤筒过滤孔的孔径依次减小。

优选的，所述第一滤筒顶部焊接有盖板，且盖板与收集筒的顶部相卡接，所述盖板顶部开设有插接孔，且螺纹软管插接于插接孔内。

优选的，所述第一滤筒和第二滤筒两侧外壁的底部位置处均焊接有弹性金属挂钩，且第二滤筒和第三滤筒顶部外壁的两侧均焊接有与弹性金属挂钩相挂接的吊耳。

优选的，所述超声波发生器和水泵均连接有开关，且开关连接有 PLC控制器，开关和PLC控制器均固定于收集槽的一侧外壁上。

本实用新型的有益效果为：

1、水泵抽取收集筒内的水，通过喷头冲洗抛光后的碳化硅晶片, 通过球壳状结构的漏屑板能够收集抛光后的碳化硅晶片，关闭阀门，能够通过在收集槽内盛放清水，通过超声波发生器产生超声波清洗碳化硅晶片，碎屑经漏屑孔流入收集槽底部；

2、打开阀门，收集槽内的碎屑和清水流入过滤机构内，经第一滤筒、第二滤筒和第三滤筒层层过滤和收集，不会堵塞过滤机构，且便于拆卸第一滤筒、第二滤筒和第三滤筒，方便取出碳化硅碎屑，不会造成空气和环境污染。

附图说明