[实用新型]基片固定装置及物理气相沉积设备

权利要求书

1.一种基片固定装置，其特征在于，包括载板(3)、压块(2)和至少一对按压结构；其中，

所述载板(3)用于承载所述基片；

所述压块(2)位于所述载板(3)上方；

每对所述按压结构分别设置于所述压块(2)及所述载板(3)相对应的两端，所述按压结构均包括弹性件、第一弹板(11)和第二弹板(12)，所述第一弹板(11)的第一端与所述压块(2)连接，所述第二弹板(12)的第一端与所述载板(3)可伸缩的连接，所述第一弹板(11)的第二端和所述第二弹板(12)的第二端通过所述弹性件连接，所述弹性件用于使所述第一弹板(11)的第一端与所述第二弹板(12)的第一端彼此远离。

2.根据权利要求1所述的基片固定装置，其特征在于，所述弹性件为扭簧(10)，所述第一弹板(11)的第二端和所述第二弹板(12)的第二端通过所述扭簧(10)铰接。

3.根据权利要求1所述的基片固定装置，其特征在于，所述载板(3)上设置有与所述第二弹板(12)一一对应的弹板挡块(31)，所述弹板挡块(31)与所述载板(3)之间具有间隔，所述第二弹板(12)的第一端伸入所述间隔内并可相对所述弹板挡块(31)绕动。

4.根据权利要求1所述的基片固定装置，其特征在于，所述载板(3)上设置有与所述第二弹板(12)一一对应的卡块，在各所述卡块的相对侧分别具有卡槽(33)，所述第二弹板(12)的第一端远离所述第一弹板(11)的第一端时，所述第二弹板(12)的第一端卡接在所述卡槽(33)内。

5.根据权利要求3所述的基片固定装置，其特征在于，所述第一弹板(11)与所述第二弹板(12)的形状及尺寸均相同。

6.根据权利要求3所述的基片固定装置，其特征在于，所述载板(3)上设置有与所述第二弹板(12)一一对应的凸台(32)，所述弹板挡块(31)设置在所述凸台(32)的上表面。

7.根据权利要求4所述的基片固定装置，其特征在于，所述载板(3)上设置有与所述第二弹板(12)一一对应的凸台(32)，所述卡块设置在所述凸台(32)的上表面。

8.根据权利要求3或4所述的基片固定装置，其特征在于，所述第一弹板(11)的背离所述第二弹板(12)的一侧设置有第一抓取槽(13)，所述第二弹板(12)的背离所述第一弹板(11)的一侧设置有第二抓取槽(14)，所述第一抓取槽(13)与所述第二抓取槽(14)对称设置。

9.根据权利要求3或4所述的基片固定装置，其特征在于，所述第一弹板(11)的第一端固定有第一支脚，所述第一弹板(11)与所述第一支脚呈大于90°夹角，所述第一弹板(11)通过所述第一支脚与所述压块(2)相连接。

10.根据权利要求3所述的基片固定装置，其特征在于，所述第二弹板(12)的第一端固定有第二支脚，所述第二弹板(12)与所述第二支脚呈大于90°夹角，所述第二支脚伸入所述弹板挡块(31)与所述载板(3)之间的所述间隔内。

11.根据权利要求4所述的基片固定装置，其特征在于，所述第二弹板(12)的第一端固定有第二支脚，所述第二弹板(12)与所述第二支脚呈大于90°夹角，所述第二支脚伸入所述卡槽(33)内。

12.根据权利要求8所述的基片固定装置，其特征在于，还包括机械手，所述机械手的抓取端与所述第一抓取槽(13)和所述第二抓取槽(14)相适配。

13.一种物理气相沉积设备，包括基片固定装置，其特征在于，所述基片固定装置为权利要求1-12中任一所述的基片固定装置。