[实用新型]一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置有效
| 申请号： | 201920992930.8 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN210361998U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 李晓波;韩建坤;袁凤坡;申硕;李路杰 | 申请（专利权）人： | 同辉电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/04 | 分类号： | B28D7/04 |
| 代理公司： | 石家庄元汇专利代理事务所(特殊普通合伙) 13115 | 代理人： | 周大伟 |
| 地址： | 050200 河北省石家*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 切割 夹紧 装置 | ||
1.一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置，包括连接杆(1)和固定于一端的联轴器(2)，其特征在于，所述连接杆(1)另一端圆周外壁上焊接有等距离分布的支撑杆(3)，且支撑杆(3)远离连接杆(1)的一端焊接有同一个固定管(4)，所述固定管(4)的外壁上开设有等距离且呈环形分布的通孔(6)，且固定管(4)的外壁上通过螺丝固定有与通孔(6)数量相匹配的夹持机构，所述夹持机构包括推杆电机(5)、固定于推杆电机(5)一端的压力传感器(7)、与压力传感器(7)连接的弧形结构缓冲垫(8)和固定于推杆电机(5)一侧外壁上的微处理器，且推杆电机(5)的输出轴滑动插接于通孔(6)的内壁上。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置，其特征在于，所述缓冲垫(8)包括为硅胶或橡胶制成的中空垫体(9)，且中空垫体(9)长度方向的两侧内壁之间连接有隔膜(10)，所述隔膜(10)将中空垫体(9)的内部分隔为第一储液室(11)和位于第一储液室(11)一侧的第二储液室(12)。
3.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置，其特征在于，所述隔膜(10)的两侧外壁上均固定有等距离分布的弹簧(13)，且弹簧(13)的另一端与中空垫体(9)的内壁连接。
4.根据权利要求3所述的一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置，其特征在于，所述弹簧(13)的两端均焊接有支撑片(14)，且支撑片(14)分别与隔膜(10)的外壁和中空垫体(9)的内壁粘接。
5.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置，其特征在于，所述推杆电机(5)通过导线与微处理器连接，且压力传感器(7)通过信号线与微处理器连接。
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