[实用新型]一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置

说明书

本实用新型公开了一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置，包括连接杆和固定于一端的联轴器，所述连接杆另一端圆周外壁上焊接有等距离分布的支撑杆，且支撑杆远离连接杆的一端焊接有同一个固定管，所述固定管的外壁上开设有等距离且呈环形分布的通孔，且固定管的外壁上通过螺丝固定有与通孔数量相匹配的夹持机构，所述夹持机构包括推杆电机、固定于推杆电机一端的压力传感器、与压力传感器连接的弧形结构缓冲垫和固定于推杆电机一侧外壁上的微处理器。本实用新型能够实时监测夹持机构对碳化硅晶棒的夹持力度，能够根据压力信息调节对碳化硅晶棒的夹持力，提供稳定的夹持力，能够在夹持机构与碳化硅晶棒接触时缓冲接触力度，避免碳化硅受损。

技术领域

本实用新型涉及碳化硅晶棒加工技术领域，尤其涉及一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置。

背景技术

现有的用于加工碳化硅的夹具，结构复杂，不易使用，且夹具夹持机构通常通过实心垫块或垫片夹持，而实心垫块或垫片施加夹持力度后，施力点与碳化硅为硬性接触，易使碳化硅在夹持过程中造成损伤。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置，包括连接杆和固定于一端的联轴器，所述连接杆另一端圆周外壁上焊接有等距离分布的支撑杆，且支撑杆远离连接杆的一端焊接有同一个固定管，所述固定管的外壁上开设有等距离且呈环形分布的通孔，且固定管的外壁上通过螺丝固定有与通孔数量相匹配的夹持机构，所述夹持机构包括推杆电机、固定于推杆电机一端的压力传感器、与压力传感器连接的弧形结构缓冲垫和固定于推杆电机一侧外壁上的微处理器，且推杆电机的输出轴滑动插接于通孔的内壁上。

优选的，所述缓冲垫包括为硅胶或橡胶制成的中空垫体，且中空垫体长度方向的两侧内壁之间连接有隔膜，所述隔膜将中空垫体的内部分隔为第一储液室和位于第一储液室一侧的第二储液室。

优选的，所述隔膜的两侧外壁上均固定有等距离分布的弹簧，且弹簧的另一端与中空垫体的内壁连接。

优选的，所述弹簧的两端均焊接有支撑片，且支撑片分别与隔膜的外壁和中空垫体的内壁粘接。

优选的，所述推杆电机通过导线与微处理器连接，且压力传感器通过信号线与微处理器连接。

本实用新型的有益效果为：

1、通过在缓冲垫一端安装压力传感器，能够实时监测夹持机构对碳化硅晶棒的夹持力度，微处理器接收压力传感器传输的压力信息，能够根据压力信息调节推杆电机对碳化硅晶棒的夹持力，提供稳定的夹持力；

2、通过在橡胶或硅胶制成的中空垫体内安装隔膜，能够在隔膜的两侧安装弹簧和盛放缓冲液，能够在缓冲垫与碳化硅晶棒接触时通过弹簧、隔膜缓冲接触力度，避免碳化硅受损。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种碳化硅晶棒切割用的夹紧装置的缓冲垫结构示意图。

图中：1连接杆、2联轴器、3支撑杆、4固定管、5推杆电机、6通孔、7压力传感器、8缓冲垫、9中空垫体、10隔膜、11第一储液室、12第二储液室、13弹簧、14支撑片。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。