[实用新型]硅片承载花篮

权利要求书

1.一种硅片承载花篮，包括两个平行设置的支撑侧板(1)和连接在两个所述支撑侧板(1)之间的插片杆(3)，其特征在于，所述插片杆(3)成对设置，且所述插片杆(3)可拆卸连接在两个所述支撑侧板(1)相向面上的两侧，所述插片杆(3)上沿轴向设置有多个锯齿形卡齿(4)；所述支撑侧板(1)上设置有若干对用于安装所述插片杆(3)的安装孔(11)，每对配合使用的所述安装孔(11)的间距对应一个硅片规格。

2.根据权利要求1所述的硅片承载花篮，其特征在于，两个所述支撑侧板(1)之间设置有支撑杆(5)，所述支撑杆(5)位于所述支撑侧板(1)的下部。

3.根据权利要求1所述的硅片承载花篮，其特征在于，所述安装孔(11)上方标识有尺寸刻度。

4.根据权利要求1所述的硅片承载花篮，其特征在于，所述插片杆(3)与所述支撑侧板(1)通过定位螺钉或定位螺栓连接。

5.根据权利要求4所述的硅片承载花篮，其特征在于，所述支撑侧板(1)的侧面位置设置有第一通孔(12)，所述插片杆(3)位于所述安装孔(11)内的表面与所述第一通孔(12)对应的位置设置有第一螺纹孔，所述定位螺钉穿过所述第一通孔(12)拧入所述第一螺纹孔内，用于对所述插片杆(3)定位。

6.根据权利要求2所述的硅片承载花篮，其特征在于，所述支撑杆(5)位于两个所述支撑侧板(1)之间的支撑部(52)的截面为椭圆形，所述支撑杆(5)的两端为圆柱形连接端，且所述圆柱形连接端转动连接在所述支撑侧板(1)的连接孔(13)内，所述圆柱形连接端的端面位置设置有定位结构。

7.根据权利要求6所述的硅片承载花篮，其特征在于，所述定位结构包括固定连接在所述圆柱形连接端的端面的挡板(51)，所述挡板(51)上设置有第二螺纹孔，所述第二螺纹孔内螺纹连接有用于抵紧定位的定位螺栓。

8.根据权利要求2所述的硅片承载花篮，其特征在于，所述插片杆(3)设置有四个，所述支撑杆(5)设置有两个，两个所述支撑杆(5)水平设置。

9.根据权利要求2所述的硅片承载花篮，其特征在于，所述支撑侧板(1)、插片杆(3)和支撑杆(5)为聚偏氟乙烯或聚丙烯材质。