[实用新型]一种清洁装置及封装压合系统

权利要求书

1.一种清洁装置，其特征在于，包括可与外界惰性气体气源(2)连通的气管结构(3)以及吹气电磁阀(4)，所述气管结构(3)包括第一气管、第二气管，所述第一气管的进气口可与外界惰性气体气源(2)连通，所述第一气管的出气口与所述吹气电磁阀(4)的第一端连通，所述吹气电磁阀(4)的第二端与所述第二气管的进气口连通，所述第二气管用于向待清洁设备吹气，所述吹气电磁阀(4)可与待清洁设备的机台开关之间互锁。

2.根据权利要求1所述的一种清洁装置，其特征在于，还包括设置在所述第一气管或所述第二气管上的阀门(5)。

3.根据权利要求2所述的一种清洁装置，其特征在于，所述第二气管包括第一子气管和第二子气管，所述第一子气管的进气口与所述吹气电磁阀(4)的第二端连通，该清洁装置还包括阀门(5)，所述阀门(5)的进气口与所述第一子气管的出气口连通，所述阀门(5)的出气口与所述第二子气管的进气口连通，所述第二子气管的出气口用于向待清洁设备吹气。

4.根据权利要求1所述的一种清洁装置，其特征在于，还包括与所述第一气管或所述第二气管连通的压力表(6)。

5.根据权利要求4所述的一种清洁装置，其特征在于，所述第一气管包括第一支气管和第二支气管，所述第一支气管的进气口可与外界惰性气体气源(2)连通，所述第二支气管的出气口与所述吹气电磁阀(4)的第一端连通，所述压力表(6)通过分气管分别与所述第一支气管的出气口、所述第二支气管的进气口连通。

6.根据权利要求5所述的一种清洁装置，其特征在于，所述第一支气管包括第一子支气管和第二子支气管，所述第一子支气管的进气口可与外界惰性气体气源(2)连通，所述第二子支气管的出气口分别与所述分气管、所述第二支气管的进气口连通，该清洁装置还包括调压阀(7)，所述调压阀(7)的进气口与所述第一子支气管的出气口连通，所述调压阀(7)的出气口与所述第二子支气管的进气口连通。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的一种清洁装置，其特征在于，所述惰性气体为氮气。

8.一种封装压合系统，其特征在于，包括：封装压合装置以及权利要求1－7中任一项所述的一种清洁装置，所述封装压合装置包括：

外腔室；

内腔室(1)，设置在所述外腔室内，所述内腔室(1)内设有用于对待封装基板进行压合封装的压合设备，所述清洁装置的气管结构(3)可伸入所述内腔室(1)，以实现对所述内腔室(1)内的异物吹扫。

9.根据权利要求8所述的一种封装压合系统，其特征在于，所述封装压合装置还设有控制芯片，所述控制芯片用于控制所述吹气电磁阀(4)与所述机台开关互锁。

10.根据权利要求8所述的一种封装压合系统，其特征在于，工作状态下，所述气管结构(3)可设置于所述内腔室(1)的载台上。

11.根据权利要求8所述的一种封装压合系统，其特征在于，所述压合设备包括下平台、可升降的上平台，所述上平台与所述下平台相对的面上连接有伸缩气缸，所述伸缩气缸用于将所述上平台、下平台围成密封腔室。

12.根据权利要求11所述的一种封装压合系统，其特征在于，所述内腔室(1)还连接有用于对所述内腔室(1)进行抽真空的抽真空机构。