[实用新型]一种清洁装置及封装压合系统有效
申请号: | 201921001967.6 | 申请日: | 2019-06-28 |
公开(公告)号: | CN210523267U | 公开(公告)日: | 2020-05-15 |
发明(设计)人: | 张意;程清;朱鹏飞 | 申请(专利权)人: | 昆山维信诺科技有限公司 |
主分类号: | B08B5/02 | 分类号: | B08B5/02;H01L21/67 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 康艳艳 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 清洁 装置 封装 系统 | ||
本实用新型提供的一种清洁装置及封装压合系统,包括可与外界惰性气体气源连通的气管结构以及吹气电磁阀,所述气管结构包括第一气管、第二气管,所述第一气管的进气口可与外界惰性气体气源连通,所述第一气管的出气口与所述吹气电磁阀的第一端连通,所述吹气电磁阀的第二端与所述第二气管的进气口连通,所述第二气管用于向待清洁设备吹气,所述吹气电磁阀可与待清洁设备的机台开关之间互锁。由于吹气电磁阀可与待清洁设备的机台开关之间互锁,也就是在机台开关在启动时,吹气电磁阀关闭,在待清洁设备运行时,不能对其进行清洁,保证了操作人员的安全性。
技术领域
本实用新型涉及清洁技术领域,具体涉及一种清洁装置及封装压合系统。
背景技术
封装压合设备的压合工作原理:机械手将基板和封装片传入压合内部腔室,两片基板对位,气缸将这个内部腔室密封,抽真空。然后压合,照UV。生产过程中发现经常出现压合的产品良率较低、上下平台压裂等异常现象,生产效率低下。
实用新型内容
因此,本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的封装压合设备的内腔室的异物不易清洁的缺陷,从而提供一种便于异物进行清洁的清洁装置及封装压合系统。
为解决上述技术问题,本实用新型提供的一种清洁装置,包括可与外界惰性气体气源连通的气管结构以及吹气电磁阀,所述气管结构包括第一气管、第二气管,所述第一气管的进气口可与外界惰性气体气源连通,所述第一气管的出气口与所述吹气电磁阀的第一端连通,所述吹气电磁阀的第二端与所述第二气管的进气口连通,所述第二气管用于向待清洁设备吹气,所述吹气电磁阀可与待清洁设备的机台开关之间互锁。
还包括设置在所述第一气管或所述第二气管上的阀门。
所述第二气管包括第一子气管和第二子气管,所述第一子气管的进气口与所述吹气电磁阀的第二端连通,该清洁装置还包括阀门,所述阀门的进气口与所述第一子气管的出气口连通,所述阀门的出气口与所述第二子气管的进气口连通,所述第二子气管的出气口用于向待清洁设备吹气。
还包括与所述第一气管或所述第二气管连通的压力表;
优选地,所述第一气管包括第一支气管和第二支气管,所述第一支气管的进气口可与外界惰性气体气源连通,所述第二支气管的出气口与所述吹气电磁阀的第一端连通,所述压力表通过分气管分别与所述第一支气管的出气口、所述第二支气管的进气口连通。
所述第一支气管包括第一子支气管和第二子支气管,所述第一子支气管的进气口可与外界惰性气体气源连通,所述第二子支气管的出气口分别与所述分气管、所述第二支气管的进气口连通,该清洁装置还包括调压阀,所述调压阀的进气口与所述第一子支气管的出气口连通,所述调压阀的出气口与所述第二子支气管的进气口连通。
所述惰性气体为氮气。
本实用新型还提供一种封装压合系统,包括:封装压合装置以及所述的一种清洁装置,所述封装压合装置包括:
外腔室;
内腔室,设置在所述外腔室内,所述内腔室内设有用于对待封装基板进行压合封装的压合设备,所述气管可伸入所述内腔室,以实现对所述内腔室内的异物吹扫。
所述封装压合装置还设有控制芯片,所述控制芯片用于控制所述吹气电磁阀与所述机台开关互锁。
工作状态下,所述气管可设置于所述内腔室的载台上。
所述压合设备包括下平台、可升降的上平台,所述上平台与所述下平台相对的面上连接有伸缩气缸,所述伸缩气缸用于将所述上平台、下平台围成密封腔室;
所述内腔室还连接有用于对所述内腔室进行抽真空的抽真空机构。
本实用新型技术方案,具有如下优点:
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