[实用新型]一种磁控溅射镀膜设备

说明书

本实用新型涉及光伏设备技术领域，具体涉及一种磁控溅射镀膜设备。本实用新型实施例提供的磁控溅射镀膜设备，包括清洗腔室和镀膜腔室，清洗腔室内设有等离子清洗装置，衬底采用等离子轰击方式清洗，不需要用到有机溶剂，等离子体可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务，整个清洗工艺流程几分钟内即可完成，可以使得清洗效率获得极大的提高；同时避免使用有危害性的有机溶剂清洗剂，也避免了对清洗液的运输、存储、排放等处理措施；并且第一样品台设有多个，这样单次抽真空就可以对多个衬底进行清洗和镀膜作业，与现有的每一个衬底的镀膜都开腔、关腔、抽真空的方式相比，减少了开关镀膜腔室的次数，提高了镀膜产出效率。

技术领域

本实用新型涉及光伏设备技术领域，具体涉及一种磁控溅射镀膜设备。

背景技术

CIGS薄膜太阳电池具有稳定性好、光电转换效率高、弱光性能好等优点，因而日益受到产业界的青睐。CIGS薄膜太阳电池的背电极层是CIGS薄膜太阳电池的最底层，它直接形成于衬底上，在背电极层上直接沉积太阳电池的吸收层材料。因此，背电极层的选取既要求与吸收层之间有良好的欧姆接触，尽量减少两者之间的界面态；同时其作为整个电池的底电极，承担着输出电池功率的重任，因此它必须要有良好的导电性能。

经过大量研究和实用证明，金属Mo是CIGS薄膜太阳电池背电极层的最佳选择。Mo金属的物理化学性质稳定，其在CIGS薄膜太阳电池制备过程中能耐高温、耐腐蚀；采用磁控溅射制备的Mo薄膜表面光泽，对光有较高的反射作用，能够进一步加强CIGS吸收层对光的吸收；金属Mo电阻率低，且与CIGS层有良好的欧姆接触，能够减小Mo与CIGS界面态的载流子复合，从而提高电池的光电转换性能。

目前Mo薄膜一般采用直流磁控溅射的方法制备，连续制备的流程包括：清洗、送样、抽真空、镀膜，破真空和取样等工序；其中在清洗工序中，先用清水冲洗衬底表面，然后将其放入特定容器并使用有机溶剂浸泡一段时间，再使用有机溶剂清洗玻璃表面，然后用清水将表面剩余的有机溶剂冲洗干净备用；清洗步骤涉及有机溶剂的使用，需要浸泡+清水冲洗+干燥，步骤多，耗时长，长时间接触还对人体有害；另外，薄膜连续沉积时每次送样取样都需要开腔+关腔+抽真空，会延长镀膜工序时间，导致薄膜制备效率十分低下。

实用新型内容

(一)本实用新型所要解决的技术问题是：现有的磁控溅射镀膜设备在清洗工序中，需要有机溶剂浸泡+清水冲洗+干燥等步骤，步骤多，耗时长，长时间接触有机溶剂还对人体有害，并且在连续沉积薄膜时每次送样取样都需要开腔+关腔+抽真空，延长镀膜工序时间，导致薄膜制备效率十分低下。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提供了一种磁控溅射镀膜设备，包括清洗腔室、镀膜腔室和门阀，所述清洗腔室和镀膜腔室通过连通门相连，所述门阀用于打开或关闭所述连通门；

所述清洗腔室内设有第一传送机构、等离子清洗装置、样品架和多个第一样品台，每个所述第一样品台用于放置一个所述样品架；多个所述第一样品台能够在驱动机构的驱动下升降，以将所述第一样品台上的样品架放置在第一传送机构上；

所述镀膜腔室内设有靶材、第二传送机构和多个第二样品台，所述靶材位于所述第二传送机构的下侧；每个所述第二样品台用于放置一个所述样品架；所述第二样品台能够在驱动机构的驱动下升降，以将所述第二传送机构上的样品架装入第二样品台上；

所述第一传送机构和第二传送机构的承载面相对，以使所述样品架能够在第一传送机构和第二传送机构上转移。

根据本实用新型的一个实施例，所述清洗腔室内设有位于所述第一传送机构上侧的第一支撑架，多个所述第一样品台的一端分别与所述第一支撑架相连，且多个所述第一样品台相互平行并间隔设置；所述驱动机构与所述第一支撑架相连，用于驱动所述第一支撑架上下移动；