[实用新型]扫描模块及包含扫描模块的三维感测装置有效
| 申请号： | 201921009242.1 | 申请日： | 2019-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN210625589U | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 洪昌黎;陈帛钧 | 申请（专利权）人： | 先进微机电系统股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台湾台北*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扫描 模块 包含 三维 装置 | ||
1.一种扫描模块，其特征在于，包含：
一基板，包含一第一平面及一第二平面，该第一平面与该第二平面相倾斜连接，且该第一平面与该第二平面之间定义有一夹角，该夹角大于45°且不大于60°；
一激光光源，设置于该基板上；
一振镜，设置于该基板的该第二平面上；以及
一光束整形单元，设置于该基板上、且位于该激光光源与该振镜之间。
2.根据权利要求1所述的扫描模块，其特征在于，该夹角大于45°且不大于50°。
3.根据权利要求1所述的扫描模块，其特征在于，该基板更包含一第三平面，该第三平面与该第一平面相垂直连接，而该激光光源设置于该第三平面上。
4.根据权利要求3所述的扫描模块，其特征在于，该基板更包含至少一定位标记，该定位标记设置于该第一平面、该第二平面及该第三平面的至少其中一者上。
5.根据权利要求4所述的扫描模块，其特征在于，该定位标记为一凹陷、凸起、通孔或印刷图案的结构。
6.根据权利要求1所述的扫描模块，其特征在于，该基板更包含至少一定位标记，该定位标记设置于该第一平面及该第二平面的至少其中一者上。
7.根据权利要求6所述的扫描模块，其特征在于，该定位标记为一凹陷、凸起、通孔或印刷图案的结构。
8.根据权利要求1所述的扫描模块，其特征在于，该激光光源设置于该第一平面上。
9.根据权利要求1所述的扫描模块，其特征在于，该光束整形单元包含一体成型的一透镜部及一框体部。
10.根据权利要求1所述的扫描模块，其特征在于，该振镜是一种一维振镜或是一种二维振镜。
11.根据权利要求1所述的扫描模块，其特征在于，该振镜为一种微机电系统(MEMS)扫描振镜。
12.一种三维感测装置，其特征在于，包含：
一权利要求1至11任一项所述的扫描模块，用以发射出一扫描光线；以及
一接收模块，位于该扫描模块的一侧，用以接收该扫描光线被一待测物件反射后的一反射光线。
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