[实用新型]一种用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置

权利要求书

1.一种用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置，包括吹气环（1）、节流阀（2）和吹气管（4），其特征是：所述吹气环（1）为中空结构，在吹气环（1）上设有至少一个进气孔，所述进气孔连接进气管（5），所述进气管（5）连接气源，在吹气环（1）的上面间隔设有复数个出气孔，每个出气孔分别连接节流阀（2）的进气口，所述节流阀（2）的出气口分别连接吹气管（4）的进气口，每个吹气管（4）的出气口分别对应硅芯的结晶区形成所述的用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置。

2.根据权利要求1所述的用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置，其特征是：所述吹气环（1）的下方设有石英板（9），所述石英板（9）上设有复数个硅芯限位孔（8）。

3.根据权利要求2所述的用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置，其特征是：所述石英板（9）的中部设有工艺孔（14）。

4.根据权利要求2所述的用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置，其特征是：所述石英板（9）通过下连接块（10）设置在吹气环（1）的下面。

5.根据权利要求1所述的用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置，其特征是：所述出气孔连接上连接块（3）的进气孔，上连接块（3）的出气孔连接节流阀（2）的进气口。

6.根据权利要求1所述的用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置，其特征是：所述吹气环（1）的下面设有至少一个排污口（6），在每个排污口（6）上设有堵头（12）。

7.根据权利要求1所述的用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置，其特征是：所述进气管（5）的端部连接炉室接头（11），所述炉室接头（11）的端部固定设置在炉室的内壁上，炉室接头（11）外接气源。

8.根据权利要求1所述的用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置，其特征是：所述吹气环（1）为方管或圆管折成的环形结构，在方管或圆管的两端分别设有吹气环堵板（7）使方管或圆管形成一个密闭的中空结构，在两吹气环堵板（7）之间设有缺口（13）。