[实用新型]一种用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置

说明书

一种用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置，涉及人工晶体领域，本实用新型在每个吹气管（4）的进气端分别设置节流阀（2），可以对不同结晶温度的拉制孔实现吹气量的调节，这样可以保证每个结晶区的结晶温度一致，进而实现多根硅芯的同时拉制，有效的保证了硅芯质量等，硅芯的快速均匀冷却可以提高晶体的拉制速度、增加所拉制的硅芯的直径，而硅芯直径的加大，又使其后期在还原炉内的生长速度加快，由此提高了生产效率等，本实用新型具有结构简单，使用效果好等优点，适合大范围的推广和应用。

【技术领域】

本实用新型涉及人工晶体领域，尤其涉及一种用于晶体拉制的吹气装置，具体涉及一种用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置。

【背景技术】

已知的，在现有技术的硅芯拉制过程中，一般使用籽晶进行引晶。待引晶完成后再进行硅芯的拉制。在此过程中，籽晶需要借助籽晶夹头夹持。待高频线圈将原料棒的端头局部融化成液体后，籽晶夹头带动籽晶下降，穿过高频线圈的拉制孔后插入原料棒上端的溶液内，随后通过籽晶夹头带动籽晶上升，籽晶带动溶液上升并重新结晶，最终形成所需长度的硅芯。

在籽晶带着融液上升的过程中，当融液离开高频*线圈的拉制孔后会逐渐冷却并重新结晶。此时带动籽晶上升的上轴的提升速度较慢，拉制直径为8mm的硅芯时，上轴的提升速度为14mm/min左右，拉制直径为10mm的硅芯时，上轴的提升速度为12mm/min左右，拉制硅芯的直径一般都在8～15mm之间。所拉制的硅芯直径越大，其后期在还原炉内的生长速度越快，生产效率越高，所以如何提高硅芯的生产效率和增大硅芯的直径就成了本领域的技术诉求之一。

针对上述技术问题，申请人提出过“一种拉制硅芯时提高硅芯结晶速度的装置”的专利申请（专利申请号为201720154782.3、申请日为2017年02月21日、公告号为CN206494987U）。该申请借助于一吹气装置，有效的提高了硅芯的结晶速度，该申请在本申请中被用作参考。

上述专利申请虽然解决了硅芯结晶速度慢的问题，但在拉制硅芯的过程中由于每个吹气管的气体流量不可调节（即每个吹气管的吹气量是一样的），因为每个吹气管所对应的拉制孔温度不一致，当吹气量一样时会导致新拉制的硅芯结晶速度不一致，影响硅芯质量，严重时还会导致部分硅芯报废等。

【发明内容】

鉴于背景技术中存在的不足，本实用新型公开了一种用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置，本实用新型在每个吹气管的进气端分别设置节流阀，可以对不同结晶温度的拉制孔实现吹气量的调节，这样可以保证每个结晶区的结晶温度一致，进而实现多根硅芯的同时拉制，有效的保证了硅芯质量等。

为实现上述发明目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置，包括吹气环、节流阀和吹气管，所述吹气环为中空结构，在吹气环上设有至少一个进气孔，所述进气孔连接进气管，所述进气管连接气源，在吹气环的上面间隔设有复数个出气孔，每个出气孔分别连接节流阀的进气口，所述节流阀的出气口分别连接吹气管的进气口，每个吹气管的出气口分别对应硅芯的结晶区形成所述的用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置。

所述的用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置，所述吹气环的下方设有石英板，所述石英板上设有复数个硅芯限位孔。

所述的用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置，所述石英板的中部设有工艺孔。

所述的用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置，所述石英板通过下连接块设置在吹气环的下面。

所述的用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置，所述出气孔连接上连接块的进气孔，上连接块的出气孔连接节流阀的进气口。

所述的用于硅芯拉制时提高硅芯结晶速度的吹气装置，所述吹气环的下面设有至少一个排污口，在每个排污口上设有堵头。