[实用新型]倾斜运输托盘的镀膜设备

权利要求书

1.一种镀膜设备，包括：用于放置基板的托盘和运送托盘的传输轨道，其特征在于，所述传输轨道具有倾斜运输段，所述倾斜运输段设置有至少一个镀膜装置；

所述倾斜运输段运送所述托盘时，所述托盘与水平面存在夹角θt，所述镀膜装置的给所述托盘中的基板投射镀膜。

2.如权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述传输轨道包括：第一传输段和位置高于所述第一传输段的第二传输段；所述倾斜运输段连接在所述第一传输段和所述第二传输段之间，所述倾斜运输段沿与水平面呈夹角θt的方向运送所述托盘。

3.如权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，所述倾斜运输段的上侧设置有镀膜装置，所述倾斜运输段上侧的镀膜装置的开口朝向所述基板的上工作面；所述第二传输段的下方设置有给所述托盘中的基板投射镀膜的镀膜装置，所述第二传输段下方的镀膜装置的开口朝向所述基板的下工作面。

4.如权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，所述倾斜运输段的上下两侧均设置有所述镀膜装置；所述倾斜运输段上侧的镀膜装置开口朝向所述基板的上工作面，所述倾斜运输段下侧的镀膜装置开口朝向所述基板的下工作面。

5.如权利要求4所述的镀膜设备，其特征在于，所述倾斜运输段上下两侧的两个镀膜装置高度相同且开口朝向相对。

6.如权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述倾斜运输段包括：下轨线和设于所述下轨线斜上方的上轨线，所述倾斜运输段沿水平方向运送托盘，所述托盘放置在所述倾斜运输段时，所述托盘为与水平面呈夹角θt的倾斜状态。

7.如权利要求6所述的镀膜设备，其特征在于，所述倾斜运输段的左右两侧均设置有所述镀膜装置；所述倾斜运输段一侧的镀膜装置开口朝向所述基板的上工作面，所述倾斜运输段另一侧的镀膜装置开口朝向所述基板的下工作面。

8.如权利要求7所述的镀膜设备，其特征在于，所述倾斜运输段左右两侧的两个镀膜装置开口朝向相对。

9.如权利要求1至8任一项所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜装置的开口沿水平方向投射镀膜或与水平面呈夹角倾斜投射镀膜。

10.如权利要求1至8任一项所述的镀膜设备，其特征在于，所述θt的范围为1°至80°。