[实用新型]倾斜运输托盘的镀膜设备

说明书

本实用新型公开了倾斜运输托盘的镀膜设备，包括：用于放置基板的托盘和运送托盘的传输轨道，传输轨道具有倾斜运输段，倾斜运输段设置有至少一个镀膜装置；倾斜运输段运送托盘时，托盘与水平面存在夹角θt，镀膜装置的给托盘中的基板投射镀膜。本实用新型能简易实现基板的双面镀膜，镀膜效率高且基板的生产品质好。

技术领域

本实用新型涉及基板镀膜技术领域，尤其涉及倾斜运输托盘的镀膜设备。

背景技术

RPD镀膜设备用于对基板的表面镀透明导电氧化膜，此处的基板是指硅片、玻璃或各种材料迭层的板材等，基板具有上表面和下表面，双面镀膜设备可以简化产线、提高产能。现有技术中主要依靠两种RPD设备实现双面镀膜，第一种是比较常见的水平式RPD镀膜设备，如图1所示，其蒸镀源角度垂直于设备X轴，镀膜腔的端面与水平面的夹角θp为0度，因镀膜腔靶材供应系统设计限制，无法将RPD设备悬吊起来，使镀膜腔的端面与水平面的夹角θp呈270度，即由上而下镀膜，而且由上而下镀膜时，会使较多粉尘掉落在基板上，造成基板的良率下降，故前述现行水平式RPD镀膜机构，需要翻片设备才可完成双面镀膜，此翻片设备是RPD镀膜设备的产能瓶颈；第二种是直立式RPD镀膜设备，其必须搭配复杂的基板固定机构，基板才可被放置在垂直的托盘上，而且基板固定机构上用来固定基板的安装件会造成基板遮避区域增加，导致基板上存在未镀膜区域，生产出的基板品质较低。

因此，如何设计结构简单、效率高的镀膜设备是业界亟待解决的技术问题。

实用新型内容

为了解决现有技术中存在结构复杂、镀膜效率低的缺陷，本实用新型提出了倾斜运输托盘的镀膜设备。

本实用新型采用的技术方案是，设计倾斜运输托盘的镀膜设备，包括：用于放置基板的托盘和运送托盘的传输轨道，传输轨道具有倾斜运输段，倾斜运输段设置有至少一个镀膜装置；倾斜运输段运送托盘时，托盘与水平面存在夹角θt，镀膜装置给托盘中的基板投射镀膜。

优选的，传输轨道包括：第一传输段和位置高于第一传输段的第二传输段。倾斜运输段连接在第一传输段和第二传输段之间，第一传输段和第二传输段沿水平方向运送托盘，倾斜运输段沿与水平面呈夹角θt的方向运送托盘。

优选的，倾斜运输段的上侧设置有镀膜装置，倾斜运输段上侧的镀膜装置的开口朝向基板的上工作面；第二传输段的下方设置有给托盘中的基板投射镀膜的镀膜装置，第二传输段下方的镀膜装置的开口朝向基板的下工作面。

优选的，倾斜运输段的上下两侧均设置有镀膜装置；倾斜运输段上侧的镀膜装置开口朝向基板的上工作面，倾斜运输段下侧的镀膜装置开口朝向基板的下工作面。

优选的，倾斜运输段上下两侧的两个镀膜装置高度相同且开口朝向相对。

优选的，倾斜运输段包括：下轨线和设于下轨线斜上方的上轨线，倾斜运输段沿水平方向运送托盘，托盘放置在倾斜运输段时，托盘为与水平面呈夹角θt的倾斜状态。

优选的，倾斜运输段的左右两侧均设置有镀膜装置；倾斜运输段一侧的镀膜装置开口朝向基板的上工作面，倾斜运输段另一侧的镀膜装置开口朝向基板的下工作面。

优选的，倾斜运输段左右两侧的两个镀膜装置开口朝向相对。

优选的，镀膜装置的开口沿水平方向投射镀膜或与水平面呈夹角倾斜投射镀膜。

优选的，θt的范围为1°至80°。

与现有技术相比，本实用新型通过倾斜运送托盘，并在传输轨道的倾斜运输段配置镀膜装置，以实现对基板正面的有效镀膜，基板倾斜放置时在重力作用下会稳定定位在托盘中，无需复杂的基板固定结构，正面镀膜时膜面可以扩张至整片基板，基板上的镀膜面积最大化，提高基板品质及生产效率。

附图说明

下面结合实施例和附图对本实用新型进行详细说明，其中：