[实用新型]一种化学机械研磨装置

权利要求书

1.一种化学机械研磨装置，其特征在于，包括：

底架；

升降设备，所述升降设备设置于所述底架的顶部，所述升降设备包括升降框，并且所述升降框的内壁的底部固定连接有电动气缸；

连接设备，所述连接设备设置于所述底架的顶部，所述连接设备包括固定杆，并且固定杆的表面滑动连接有移动架，所述移动架的左侧固定连接有顶架；

驱动设备，所述驱动设备设置于所述顶架的顶部，并且所述驱动设备包括消音箱；

驱动电机，所述驱动电机设置于所述消音箱的内壁的顶部，并且所述驱动电机的输出轴固定连接有转动杆，所述转动杆的底端固定连接有研磨头；

支撑设备，所述支撑设备设置于所述底架的顶部，所述支撑设备包括稳定框，并且所述稳定框的内壁的底部转动连接有活动杆；

放置设备，所述放置设备设置于所述活动杆的顶部，所述放置设备包括加热框，并且所述加热框的顶部固定连接有研磨槽；

加液装置，所述加液装置设置于所述底架的顶部，并且所述加液装置包括清洗箱，所述清洗箱的顶部的左侧固定连接有吸泵。

2.根据权利要求1所述的一种化学机械研磨装置，其特征在于，所述电动气缸的顶部固定连接有固定块。

3.根据权利要求1所述的一种化学机械研磨装置，其特征在于，所述活动杆位于稳定框的内部的一端的表面固定连接有第一皮带轮。

4.根据权利要求1所述的一种化学机械研磨装置，其特征在于，所述稳定框的内壁底部的右侧固定连接有转动电机，并且所述转动电机的输出轴固定连接有第二皮带轮。

5.根据权利要求1所述的一种化学机械研磨装置，其特征在于，所述稳定框的内壁底部的左侧固定连接有供电箱，并且所述供电箱的内壁的底部设置有供电池。

6.根据权利要求1所述的一种化学机械研磨装置，其特征在于，所述加热框的内壁底部设置有加热块，所述加热框的内壁的两侧之间设置有加热管，并且所述加热管的表面缠绕有加热丝。

7.根据权利要求1所述的一种化学机械研磨装置，其特征在于，所述吸泵的吸口连通有吸液管，并且所述吸泵的排口连通有排液管，所述清洗箱的右侧连通有进液管。