[实用新型]一种MEMS柔性引线键合设备

权利要求书

1.一种MEMS柔性引线键合设备，包括主外壳(1)，所述主外壳(1)上连接有键合操作设备(2)，其特征在于，所述主外壳(1)上固定连接有一对限位柱(3)，一对所述限位柱(3)上均转动连接有连接板(4)，一对所述连接板(4)之间固定连接有透明防护罩(5)，所述透明防护罩(5)与键合操作设备(2)和主外壳(1)均匹配，所述透明防护罩(5)远离键合操作设备(2)的一侧壁上开凿移动槽，所述移动槽内滑动连接有凸透镜(8)，所述移动槽包括第一滑槽(6)和第二滑槽(7)，且第一滑槽(6)与第二滑槽(7)交叉分布。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS柔性引线键合设备，其特征在于，所述透明防护罩(5)为亚克力玻璃材料，所述凸透镜(8)为树脂材料。

3.根据权利要求1所述的一种MEMS柔性引线键合设备，其特征在于，所述连接板(4)上开凿有通孔(11)，且限位柱(3)位于通孔(11)内。

4.根据权利要求1所述的一种MEMS柔性引线键合设备，其特征在于，所述主外壳(1)上开凿有与透明防护罩(5)的下端相匹配的限位槽(9)，透明防护罩(5)的下端铺设有与限位槽(9)相匹配的防护垫(10)。

5.根据权利要求1所述的一种MEMS柔性引线键合设备，其特征在于，所述透明防护罩(5)和凸透镜(8)的表面均涂有疏油层。

6.根据权利要求1所述的一种MEMS柔性引线键合设备，其特征在于，所述第一滑槽(6)与第二滑槽(7)为垂直分布。

7.根据权利要求1所述的一种MEMS柔性引线键合设备，其特征在于，所述第一滑槽(6)和第二滑槽(7)的内壁上均设有抛光层。