[实用新型]一种MEMS柔性引线键合设备

说明书

本实用新型公开了一种MEMS柔性引线键合设备，包括主外壳，所述主外壳上连接有键合操作设备，其特征在于，所述主外壳上固定连接有一对限位柱，一对所述限位柱上均转动连接有连接板，一对所述连接板之间固定连接有透明防护罩，所述透明防护罩与键合操作设备和主外壳均匹配，所述透明防护罩远离键合操作设备的一侧壁上开凿移动槽，所述移动槽内滑动连接有凸透镜，所述移动槽包括第一滑槽和第二滑槽，且第一滑槽与第二滑槽交叉分布；本实用新型中的一种MEMS柔性引线键合设备，其安装有可拆卸的防护罩，不影响通风散热的同时，便于对键合操作设备进行详细的观察，在研发和教学等过程中不容易产生对键合机的操作部分造成误触和干扰。

技术领域

本实用新型涉及MEMS键合设备技术领域，特别是涉及一种MEMS柔性引线键合设备。

背景技术

针对当前MEMS产业化小化量、多品种的特点，以高性能、高适应性、易操作为目标，现有技术中有小型多功能MEMS柔性引线引线键合机，该设备具有单点焊、深腔焊、植球、线弧控制等多项功能，并可适应PCB板、双列直插管壳、DIP、COB等多种封装结构的引线操作，适合科研院所、高校等研究机构以及从事MEMS传感器产品研发的专业公司在产品研发、打样、定型及小批量制作等过程中使用。

现有技术中小型MEMS柔性引线引线键合机的操作部分一般都是裸露在外的，操作人员需通过附近搭配的显微视觉系统在显示屏上对其进行操作，在研发和教学等过程中容易产生对键合机的操作部分的造成误触和干扰，人为产生的杂质也容易对键合的质量造成影响。

因此，针对上述技术问题，有必要提供一种MEMS柔性引线键合设备。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种MEMS柔性引线键合设备，其安装有可拆卸的防护罩，不影响通风散热的同时，便于对键合操作设备进行详细的观察，在研发和教学等过程中不容易产生对键合机的操作部分造成误触和干扰。

为了实现上述目的，本实用新型一实施例提供的技术方案如下：

一种MEMS柔性引线键合设备，包括主外壳，所述主外壳上连接有键合操作设备，其特征在于，所述主外壳上固定连接有一对限位柱，一对所述限位柱上均转动连接有连接板，一对所述连接板之间固定连接有透明防护罩，所述透明防护罩与键合操作设备和主外壳均匹配，所述透明防护罩远离键合操作设备的一侧壁上开凿移动槽，所述移动槽内滑动连接有凸透镜，所述移动槽包括第一滑槽和第二滑槽，且第一滑槽与第二滑槽交叉分布。

作为本实用新型的进一步改进，所述透明防护罩为亚克力玻璃材料，所述凸透镜为树脂材料。

作为本实用新型的进一步改进，所述连接板上开凿有通孔，且限位柱位于通孔内。

作为本实用新型的进一步改进，所述主外壳上开凿有与透明防护罩的下端相匹配的限位槽，透明防护罩的下端铺设有与限位槽相匹配的防护垫。

作为本实用新型的进一步改进，所述透明防护罩和凸透镜的表面均涂有疏油层。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一滑槽与第二滑槽为垂直分布。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一滑槽和第二滑槽的内壁上均设有抛光层。

本实用新型的有益效果是：本实用新型中的一种MEMS柔性引线键合设备，其安装有可拆卸的防护罩，不影响通风散热的同时，便于对键合操作设备进行详细的观察，在研发和教学等过程中不容易产生对键合机的操作部分造成误触和干扰。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。