[实用新型]一种注入机硅片传送系统的片筐定位校准工具有效

专利信息
申请号: 201921050992.3 申请日: 2019-07-08
公开(公告)号: CN209880574U 公开(公告)日: 2019-12-31
发明(设计)人: 李春财 申请(专利权)人: 吉林瑞能半导体有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;H01L21/677
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 132013 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 右侧壁 左侧壁 本实用新型 校准工具 筐本体 连接筋 硅片 筐槽 机台 传送过程 硅片传送 碎片问题 有效减少 校准 调整片 根连接 注入机 插片 产线 掉片 良率 支架 手臂 改制 观察
【权利要求书】:

1.一种注入机硅片传送系统的片筐定位校准工具,其特征在于,结构包括片筐本体,所述片筐本体是由左侧壁、右侧壁和连接筋构成,所述连接筋有两根,且每根连接筋的两端分别与左侧壁和右侧壁固定连接,所述左侧壁设有一定数量和深度的片筐槽一,所述右侧壁设有一定数量和深度的片筐槽二。

2.根据权利要求1所述的一种注入机硅片传送系统的片筐定位校准工具,其特征在于,以所述左侧壁、右侧壁、连接筋围成的长方形开口的两短边中点连线为对称轴,片筐槽一与片筐槽二呈对称分布。

3.根据权利要求2所述的一种注入机硅片传送系统的片筐定位校准工具,其特征在于,所述片筐槽一与片筐槽二形状相同,以片筐槽二为例,片筐槽二的横截面为狭长的开口,开口的一端由两条等长的斜边与一条竖直的直边组成,两斜边的夹角为9.2°,直边的长度为1.52mm。

4.根据权利要求1所述的一种注入机硅片传送系统的片筐定位校准工具,其特征在于,所述右侧壁的下部中间位置开有一长方形的视窗口,所述右侧壁的上部一侧开有L型的缺口一,其另一侧开有L型的缺口二。

5.根据权利要求1所述的一种注入机硅片传送系统的片筐定位校准工具,其特征在于,所述片筐槽一与左侧壁外侧的中部和下部贯通,所述片筐槽二与右侧壁外侧的中部和下部贯通。

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