[实用新型]一种注入机硅片传送系统的片筐定位校准工具

权利要求书

1.一种注入机硅片传送系统的片筐定位校准工具，其特征在于，结构包括片筐本体，所述片筐本体是由左侧壁、右侧壁和连接筋构成，所述连接筋有两根，且每根连接筋的两端分别与左侧壁和右侧壁固定连接，所述左侧壁设有一定数量和深度的片筐槽一，所述右侧壁设有一定数量和深度的片筐槽二。

2.根据权利要求1所述的一种注入机硅片传送系统的片筐定位校准工具，其特征在于，以所述左侧壁、右侧壁、连接筋围成的长方形开口的两短边中点连线为对称轴，片筐槽一与片筐槽二呈对称分布。

3.根据权利要求2所述的一种注入机硅片传送系统的片筐定位校准工具，其特征在于，所述片筐槽一与片筐槽二形状相同，以片筐槽二为例，片筐槽二的横截面为狭长的开口，开口的一端由两条等长的斜边与一条竖直的直边组成，两斜边的夹角为9.2°，直边的长度为1.52mm。

4.根据权利要求1所述的一种注入机硅片传送系统的片筐定位校准工具，其特征在于，所述右侧壁的下部中间位置开有一长方形的视窗口，所述右侧壁的上部一侧开有L型的缺口一，其另一侧开有L型的缺口二。

5.根据权利要求1所述的一种注入机硅片传送系统的片筐定位校准工具，其特征在于，所述片筐槽一与左侧壁外侧的中部和下部贯通，所述片筐槽二与右侧壁外侧的中部和下部贯通。