[实用新型]一种提高低压扩散产能的增加氮气回充流量装置

权利要求书

1.一种提高低压扩散产能的增加氮气回充流量装置，包括扩散炉炉管(1)，所述扩散炉炉管(1)连接有主回充管(2)，所述主回充管(2)远离扩散炉炉管(1)一端依次连接有主气动阀(3)和主流量计(4)，其特征在于：所述主回充管(2)上插接有辅回充管(5)，所述辅回充管(5)远离主回充管(2)一端依次连接有辅气动阀(6)和浮子流量计(7)。

2.根据权利要求1所述的一种提高低压扩散产能的增加氮气回充流量装置，其特征在于：所述辅回充管(5)和辅气动阀(6)之间设置有连接头(8)，所述连接头(8)中开设有内腔(9)，所述内腔(9)一侧侧壁开设有出气口(10)，且内腔(9)远离出气口(10)一侧侧壁开设有四个进气口(11)；

所述进气口(11)靠近出气口(10)一侧活动贴设有挡气板(12)，且进气口(11)两侧均开设有凹槽(13)，所述凹槽(13)中设置有拉紧弹簧(14)，所述拉紧弹簧(14)与挡气板(12)固定连接；

所述辅回充管(5)固定插接在出气口(10)中，所述进气口(11)中活动插设有调节管(15)，所述辅气动阀(6)和浮子流量计(7)均固定在调节管(15)远离连接头(8)一端。

3.根据权利要求2所述的一种提高低压扩散产能的增加氮气回充流量装置，其特征在于：所述调节管(15)靠近连接头(8)一端连接有固定套(16)，所述固定套(16)通过紧固螺钉(17)固定于连接头(8)上。

4.根据权利要求2所述的一种提高低压扩散产能的增加氮气回充流量装置，其特征在于：所述挡气板(12)靠近进气口(11)一侧固定连接有密封层。