[实用新型]一种提高低压扩散产能的增加氮气回充流量装置

说明书

本实用新型公开了一种提高低压扩散产能的增加氮气回充流量装置，包括扩散炉炉管，所述扩散炉炉管连接有主回充管，所述主回充管远离扩散炉炉管一端依次连接有主气动阀和主流量计，所述主回充管上插接有辅回充管，所述辅回充管远离主回充管一端依次连接有辅气动阀和浮子流量计，所述辅回充管和辅气动阀之间设置有连接头，所述内腔一侧侧壁开设有出气口，且内腔远离出气口一侧侧壁开设有四个进气口。本实用新型的辅回充管可以通过连接头的使用，同时增加多路调节管同时进行氮气回充，从而使产能得到进一步提升，最后经统计，增加辅回充管进行调节后每12小时产能能够提升1847片，实用效果非常好。

技术领域

本实用新型涉及光伏产业扩散炉技术领域，具体为一种提高低压扩散产能的增加氮气回充流量装置。

背景技术

低压扩散炉所具有的高均匀性、高产能、和低消耗的优势，低压扩散炉能够在低成本和小占地面积的情况下生产高品质的太阳电池，为晶体硅太阳电池扩散工艺设定了全新标准。随着市场从成长到成熟再到衰退，降低生产成本是市场发展的必然要求。因此大量提升产能，以降低单片成本。在原有的设计基础上，进一步提高低压扩散的产能。

我们所使用的五管低压扩散炉为低压扩散炉，虽然此机台进出桨速度相对较快，升温能力也更强，但是工艺时间相对较长，研究发现硅片扩散后，炉管回压步骤，时间较长，主要表现在炉管回充氮气流量不足，分析氮气回充气路发现，流量的大小是由相应管道以及气动阀和流量计组成。

而目前我们所使用的低压扩散炉采用目前使用的是大氮流量计 10000sccm，在扩散结束后，炉管回充氮气，到常压后才会开炉门取舟，由于回充流量最大为10000sccm，氮气回充时间约330S，回充氮气时间太长，严重影响炉管产能。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种提高低压扩散产能的增加氮气回充流量装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种提高低压扩散产能的增加氮气回充流量装置，包括扩散炉炉管，所述扩散炉炉管连接有主回充管，所述主回充管远离扩散炉炉管一端依次连接有主气动阀和主流量计，所述主回充管上插接有辅回充管，所述辅回充管远离主回充管一端依次连接有辅气动阀和浮子流量计。

优选的，所述辅回充管和辅气动阀之间设置有连接头，所述连接头中开设有内腔，所述内腔一侧侧壁开设有出气口，且内腔远离出气口一侧侧壁开设有四个进气口；

所述进气口靠近出气口一侧活动贴设有挡气板，且进气口两侧均开设有凹槽，所述凹槽中设置有拉紧弹簧，所述拉紧弹簧与挡气板固定连接；

所述辅回充管固定插接在出气口中，所述进气口中活动插设有调节管，所述辅气动阀和浮子流量计均固定在调节管远离连接头一端。

优选的，所述调节管靠近连接头一端连接有固定套，所述固定套通过紧固螺钉固定于连接头上。

优选的，所述挡气板靠近进气口一侧固定连接有密封层。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型中可以将原先10000sccm量程的流量计更换为30000sccm量程的主流量计，使得回充氮气的理论时间会减少到原来的1/3，随后再配合增加一路辅回充管由辅气动阀控制经过浮子流量计回充进炉管，回充氮气时间可进一步压缩至60S以内。

本实用新型的辅回充管可以通过连接头的使用，同时增加多路调节管同时进行氮气回充，从而使产能得到进一步提升，并且连接头的设置，使得氮气回充管路可以更好的根据需求进行很好的回充流量调节，最后经统计，增加辅回充管进行调节后每12小时产能能够提升1847片，实用效果非常好。

附图说明

图1为现有技术中炉管回充氮气装置结构示意图；