[实用新型]一种兼容多种尺寸的晶圆贴膜装置

权利要求书

1.一种兼容多种尺寸的晶圆贴膜装置，包括基座(1)、覆膜装置(11)、工作台(12)、滚轮装置(13)和切割机构(14)，所述覆膜装置(11)设置在基座(1)的一侧，所述工作台(12)设置在基座(1)上，所述滚轮装置(13)滑移连接在工作台(12)的顶端，所述工作台(12)一层转动连接有盖板(121)，所述切割机构(14)固定在盖板(121)上并与工作台(12)相抵；其特征在于：所述工作台(12)上设置有若干尺寸的嵌置槽(2)，所述嵌置槽(2)底壁设置限位杆(21)，所述限位杆(21)与嵌置槽(2)底壁滑移连接，所述限位杆(21)底端设置有驱动限位杆(21)的驱动气缸(211)，所述工作台(12)表面设置有若干吸附微孔(22)，所述吸附微孔(22)连接有吸附装置(221)。

2.根据权利要求1所述的兼容多种尺寸的晶圆贴膜装置，其特征在于：所述工作台(12)底端设置有加热装置(23)，所述基座(1)一侧设置有控制加热装置(23)的开关(231)。

3.根据权利要求1所述的兼容多种尺寸的晶圆贴膜装置，其特征在于：所述切割机构(14)包括截断刀(4)和环切刀(3)，所述环切刀(3)设置在盖板(121)上，所述环切刀(3)包括操作手柄(31)、转轴(32)和延伸刀柄(33)，所述延伸刀柄(33)滑移连接在转轴(32)上。

4.根据权利要求3所述的兼容多种尺寸的晶圆贴膜装置，其特征在于：所述转轴(32)侧壁螺纹连接有抵接杆(321)，所述延伸刀柄(33)位于抵接杆(321)处设置有限位槽(332)，所述抵接杆(321)与延伸刀柄(33)相抵。

5.根据权利要求4所述的兼容多种尺寸的晶圆贴膜装置，其特征在于：所述延伸刀柄(33)远离转轴(32)的一端设置有环切刃(333)，所述环切刃(333)顶端设置侧壁有位移气缸(3331)。

6.根据权利要求5所述的兼容多种尺寸的晶圆贴膜装置，其特征在于：所述环切刃(333)一侧设置有抵紧气缸(3332)，所述抵紧气缸(3332)用于驱动环切刃(333)向延伸刀柄(33)方向抵紧。

7.根据权利要求3所述的兼容多种尺寸的晶圆贴膜装置，其特征在于：所述截断刀(4)设置在盖板(121)靠近覆膜装置(11)的一侧，所述盖板(121)上设置有支撑杆(1211)，所述支撑杆(1211)上滑移连接有固定块(41)，所述固定块(41)上滑移连接有切割杆(412)，所述切割杆(412)底端设置有刃部(4121)，所述切割杆(412)顶端设置有操作手柄(31)。

8.根据权利要求7所述的兼容多种尺寸的晶圆贴膜装置，其特征在于：所述切割杆(412)与固定块(41)之间设置有复位弹簧(413)。