[实用新型]一种碳化硅生产籽晶保护装置

权利要求书

1.一种碳化硅生产籽晶保护装置，包括反应炉(1)，其特征在于：所述反应炉(1)外壁固定连接有距离传感器(2)，所述反应炉(1)外壁固定连接有控制面板(3)，所述反应炉(1)内壁开设有限位卡槽(4)，所述限位卡槽(4)内固定连接有气缸(5)，所述气缸(5)输出端固定连接有弧形板(6)，所述弧形板(6)远离气缸(5)的一端固定连接有缓冲装置(7)，所述反应炉(1)内壁固定连接有两组防护装置(8)，且对称分布在气缸(5)两侧。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产籽晶保护装置，其特征在于：所述限位卡槽(4)设置有四组，且对称分布在反应炉(1)两侧内壁。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产籽晶保护装置，其特征在于：所述缓冲装置(7)包括缓冲弹簧(9)和缓冲块(10)，所弧形板(6)上开设有缓冲卡槽(11)，所述缓冲卡槽(11)与缓冲弹簧(9)一端固定连接，所述缓冲弹簧(9)远离缓冲卡槽(11)的一端与缓冲块(10)固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅生产籽晶保护装置，其特征在于：所述缓冲卡槽(11)设置有若干个，且均匀分布在弧形板(6)上。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产籽晶保护装置，其特征在于：所述防护装置(8)包括第一伸缩杆(12)和第二伸缩杆(13)，所述第一伸缩杆(12)一端与反应炉(1)内壁固定连接，所述第一伸缩杆(12)远离反应炉(1)的一端开设有第一卡槽(14)，所述第二伸缩杆(13)的一端卡接在第一卡槽(14)内，且与第一卡槽(14)滑动连接，所述第二伸缩杆(13)远离第一卡槽(14)的一端与弧形板(6)固定连接。