[实用新型]一种碳化硅生产籽晶保护装置

说明书

本实用新型公开了一种碳化硅生产籽晶保护装置，包括反应炉，所述反应炉外壁固定连接有距离传感器，所述反应炉外壁固定连接有控制面板，所述反应炉内壁开设有限位卡槽，所述限位卡槽内固定连接有气缸，所述气缸输出端固定连接有弧形板，所述弧形板远离气缸的一端固定连接有缓冲装置，所述反应炉内壁固定连接有两组防护装置，且对称分布在气缸两侧，此碳化硅生产籽晶保护装置通过距离传感器和控制面板堆气缸进行控制，使气缸运动，带动挡板运动，对籽晶起到夹持的作用，可以避免籽晶掉入熔汤里。

技术领域

本实用新型涉及碳化硅加工设备技术领域，具体为一种碳化硅生产籽晶保护装置。

背景技术

碳化硅(SiC)单晶材料具有宽禁带、高热导率、高电子饱和迁移速率、高击穿电场等性质，与第一代半导体材料和第二代半导体材料相比有着明显的优越性，被认为是制造光电子器件、高频大功率器件、电力电子器件理想的半导体材料，在白光照明、光存储、屏幕显示、航天航空、高温辐射环境、石油勘探、自动化、雷达与通信、汽车电子化等方面有广泛应用。

籽晶从最终的长晶结束退火阶段后，籽晶被缓慢拉出，拉到最高处的籽晶由于体积过大，重量较重，可能会脱落掉入熔汤，为此，我们提出一种碳化硅生产籽晶保护装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种碳化硅生产籽晶保护装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种碳化硅生产籽晶保护装置，包括反应炉，所述反应炉外壁固定连接有距离传感器，所述反应炉外壁固定连接有控制面板，所述反应炉内壁开设有限位卡槽，所述限位卡槽内固定连接有气缸，所述气缸输出端固定连接有弧形板，所述弧形板远离气缸的一端固定连接有缓冲装置，所述反应炉内壁固定连接有两组防护装置，且对称分布在气缸两侧。

优选的，所述限位卡槽设置有四组，且对称分布在反应炉两侧内壁。

优选的，所述缓冲装置包括缓冲弹簧和缓冲块，所弧形板上开设有缓冲卡槽，所述缓冲卡槽与缓冲弹簧一端固定连接，所述缓冲弹簧远离缓冲卡槽的一端与缓冲块固定连接。

优选的，所述缓冲卡槽设置有若干个，且均匀分布在弧形板上。

优选的，所述防护装置包括第一伸缩杆和第二伸缩杆，所述第一伸缩杆一端与反应炉内壁固定连接，所述第一伸缩杆远离反应炉的一端开设有第一卡槽，所述第二伸缩杆的一端卡接在第一卡槽内，且与第一卡槽滑动连接，所述第二伸缩杆远离第一卡槽的一端与弧形板固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过距离传感器和控制面板堆气缸进行控制，使气缸运动，带动挡板运动，对籽晶起到夹持的作用，可以避免籽晶掉入熔汤里。

2、本实用新型设置缓冲装置对气缸进行保护，设置缓冲弹簧和缓冲块对籽晶起到保护作用。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为图1中A区局部放大图；

图3为本实用新型俯视剖视图；

图4为图1中B区局部剖视图；

图5为图4中C区局部放大图。

图中：1-反应炉；2-距离传感器；3-控制面板；4-限位卡槽；5-气缸；6-弧形板；7-缓冲装置；8-防护装置；9-缓冲弹簧；10-缓冲块；11-缓冲卡槽；12-第一伸缩杆；13-第二伸缩杆；14-第一卡槽。

具体实施方式