[实用新型]一种尾气处理系统有效
| 申请号： | 201921071113.5 | 申请日： | 2019-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN210280074U | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 刘红军;庄士贤;王猛;蔡家豪;张家豪 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/032 | 分类号： | B08B9/032;F26B21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 尾气 处理 系统 | ||
1.一种尾气处理系统，包括：
干泵，与ICP机台连接；
多级水箱，用于处理尾气，底部具有进液口和出液口，顶端具有进气口和排气口；
尾气处理管路，连接干泵和进气口，靠近干泵一端具有第一阀门，靠近进气口一端具有第二阀门；
其特征在于：还包括冲洗管路，所述冲洗管路的一端通过水泵与水箱的底端连接，另一端通过第三阀门与尾气处理管路连接，所述第三阀门和尾气处理管路之间具有压缩空气进气口和压力表。
2.根据权利要求1所述的一种尾气处理系统，其特征在于：关闭所述第三阀门，开启所述第一阀门和第二阀门，ICP机台的尾气通过尾气处理管路进入多级水箱内进行尾气处理。
3.根据权利要求1所述的一种尾气处理系统，其特征在于：关闭所述第一阀门，开启所述第二阀门和第三阀门，多级水箱底部的水通过冲洗管路对尾气处理管路进行冲洗处理。
4.根据权利要求1所述的一种尾气处理系统，其特征在于：关闭所述第一阀门和第三阀门，开启所述第二阀门，所述压缩空气进气口通入压缩空气，对尾气处理管路进行吹扫。
5.根据权利要求1所述的一种尾气处理系统，其特征在于：所述多级水箱为三级水箱。
6.根据权利要求1所述的一种尾气处理系统，其特征在于：所述多级水箱的底部设置有检测底层水PH的PH检测器。
7.根据权利要求1所述的一种尾气处理系统，其特征在于：所述多级水箱的底部设置有检测底层水水阻值的ORP检测器。
8.根据权利要求1所述的一种尾气处理系统，其特征在于：所述多级水箱的底部设置有加热底层水的加热器。
9.根据权利要求1所述的一种尾气处理系统，其特征在于：所述多级水箱的出液口连接有排出管路，所述排出管路上设置有控制液体排出的第四阀门。
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