[实用新型]一种尾气处理系统

说明书

本实用新型属于半导体设备领域，涉及一种尾气处理系统，包括：干泵；多级水箱，底部具有进液口和出液口，顶端具有进气口和排气口；尾气处理管路，连接干泵和进气口，靠近干泵一端具有第一阀门，靠近进气口一端具有第二阀门；其特征在于：还包括冲洗管路，所述冲洗管路的一端通过水泵与水箱的底端连接，另一端通过第三阀门与尾气处理管路连接，所述第三阀门和尾气处理管路之间具有压缩空气进气口和压力表。本实用新型通过于多级水箱和尾气处理管路之间增加冲洗管路和水泵，并在冲洗管路和尾气处理管路之间增加压缩空气进气口，采用多级水箱中的水和压缩空气分别对尾气处理管路进行冲洗和吹扫，从而防止尾气处理管路堵塞。

技术领域

本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种ICP机台的尾气处理系统。

背景技术

现有技术中，因干蚀刻机台工艺使用气体主要为BCl₃和Cl₂，工艺所产生的尾气需经处理后才可排放入大气中，而传统处理方法是将ICP的尾气通过尾气处理管路直接导入尾气处理器（常用尾气处理器为水箱）中，但是因蚀刻工艺产生的生成物较多，包括气体和粉尘等，导致尾气处理管路频繁出现堵塞，造成尾气无法正常排放并存在气体泄漏的风险。另外，尾气处理管路外因包覆有加热带和保护装置，拆解较不方便，无法对尾气处理管路进行清洁处理。

发明内容

为解决现有技术中的问题，本实用新型提供一种尾气处理系统，可以实现对尾气处理管路的清洗和吹扫，防止尾气处理管路的堵塞现象，具体技术方案为：

一种尾气处理系统包括：干泵，与ICP机台连接；多级水箱，用于处理尾气，底部具有进液口和出液口，顶端具有进气口和排气口；尾气处理管路，连接干泵和进气口，靠近干泵一端具有第一阀门，靠近进气口一端具有第二阀门；其特征在于：还包括冲洗管路，所述冲洗管路的一端通过水泵与水箱的底端连接，另一端通过第三阀门与尾气处理管路连接，所述第三阀门和尾气处理管路之间具有压缩空气进气口和压力表。

优选的，关闭所述第三阀门，开启所述第一阀门和第二阀门，ICP机台的尾气通过尾气处理管路进入多级水箱内进行尾气处理。

优选的，关闭所述第一阀门，开启所述第二阀门和第三阀门，多级水箱底部的水通过冲洗管路对尾气处理管路进行冲洗处理。

优选的，关闭所述第一阀门和第三阀门，开启所述第二阀门，所述压缩空气进气口通入压缩空气，对尾气处理管路进行吹扫。

优选的，所述多级水箱为三级水箱。

优选的，所述多级水箱的底部设置有检测底层水PH的PH检测器。

优选的，所述多级水箱的底部设置有检测底层水水阻值的ORP检测器。

优选的，所述多级水箱的底部设置有加热底层水的加热器。

优选的，所述多级水箱的出液口连接有排出管路，所述排出管路上设置有控制液体排出的第四阀门。

本实用新型于多级水箱和尾气处理管路之间增加冲洗管路和水泵，在尾气处理管路不拆解的前提下，可以采用多级水箱中的水对尾气处理管路进行冲洗，防止粉尘的粘附；同时，在冲洗管路和尾气处理管路之间增加压缩空气进气口，通过压缩空气对尾气处理管路进行吹扫，保证其干燥，也防止粉尘的粘附，进而防止尾气处理管路堵塞。

附图说明

图1为本实用新型之尾气处理系统之结构示意图。

具体实施方式

下面将结合示意图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。