[实用新型]一种基板干燥装置

权利要求书

1.一种基板干燥装置，其特征在于，包括箱体(1)、第一风刀(2)、第二风刀(3)、若干排气阀体(4)和若干测量件(5)，其中，

所述箱体(1)的一端开设有基板进口(13)，另一端开设有基板出口(14)；

所述第一风刀(2)和所述第二风刀(3)相对设置在所述箱体(1)的内部，且所述第一风刀(2)和所述第二风刀(3)之间形成一缝隙(15)，所述缝隙(15)、所述基板进口(13)和所述基板出口(14)形成基板通过面以供基板通过，所述第一风刀(2)和所述第二风刀(3)将所述箱体(1)内区域分割为湿区间(11)和干区间(12)；

若干所述排气阀体(4)分布在所述湿区间(11)对应的箱体(1)上，且分布在所述基板通过面的上侧和下侧；

若干所述测量件(5)分布在所述湿区间(11)内与若干所述排气阀体(4)相对应的区域，且分布在所述基板通过面的上侧、下侧和边侧。

2.如权利要求1所述的基板干燥装置，其特征在于，若干所述排气阀体(4)分布在所述湿区间(1)的侧壁和底壁，且分布在侧壁上的若干所述排气阀体(4)位于所述基板通过面的上侧。

3.如权利要求1所述的基板干燥装置，其特征在于，所述排气阀体(4)为可调节排气口开合状态的电动阀体。

4.如权利要求1所述的基板干燥装置，其特征在于，若干所述排气阀体(4)的数量为6个，分别为第一排气阀体(41)、第二排气阀体(42)、第三排气阀体(43)、第四排气阀体(44)、第五排气阀体(45)和第六排气阀体(46)，其中，

所述第一排气阀体(41)和所述第二排气阀体(42)相对地设置在所述湿区间(11)的侧壁上且位于所述基板通过面的上侧；

所述第三排气阀体(43)、所述第四排气阀体(44)、所述第五排气阀体(45)和所述第六排气阀体(46)两两呈直线或对角线相邻地分布在所述湿区间(11)的底壁上。

5.如权利要求4所述的基板干燥装置，其特征在于，若干所述测量件(5)的数量为3个，分别为第一测量件(51)、第二测量件(52)和第三测量件(53)，其中，

所述第一测量件(51)设置在所述基板通过面的上侧且设置在与所述第一排气阀体(41)和第二排气阀体(42)相对应的区域；

所述第二测量件(52)设置在所述基板通过面的下侧且设置在与所述第三排气阀体(43)、所述第四排气阀体(44)、所述第五排气阀体(45)和所述第六排气阀体(46)相对应的区域；

所述第三测量件(53)设置在所述基板通过面的边侧区域。

6.如权利要求1所述的基板干燥装置，其特征在于，每个所述测量件(5)包括气体流速检测件。

7.如权利要求6所述的基板干燥装置，其特征在于，每个所述测量件(5)还包括气体流向检测件。