[实用新型]一种基板干燥装置

说明书

本实用新型涉及一种基板干燥装置，包括箱体、第一风刀、第二风刀、若干排气阀体和若干测量件，其中，箱体的一端开设有基板进口，另一端开设有基板出口；第一风刀和第二风刀相对设置在箱体的内部，且第一风刀和第二风刀之间形成一缝隙，缝隙与基板进口、基板出口形成基板通过面，第一风刀和第二风刀将箱体分割为湿区间和干区间；若干排气阀体分布在湿区间对应的箱体上，且分布在基板通过面的上侧和下侧；若干测量件分布在湿区间内与若干排气阀体相对应的区域，且分别分布在基板通过面的上侧、下侧和边侧。该基板干燥装置可实现箱体内气流的动态调整，降低气体扰流带来的颗粒物和水汽回溅问题，提升设备的洁净度，降低玻璃基板的污染率。

技术领域

本实用新型属于基板生产设备技术领域，具体涉及一种基板干燥装置。

背景技术

在TFT-LCD工艺中，玻璃基板经过洗净机洗净后进入风刀除水干燥工序。风刀除水干燥是玻璃基板加工过程的最后一道工序，该工序很大程度上决定了玻璃基板的品质。在干燥过程中，玻璃基板通过传送辊传送进入安装有风刀的干燥箱中，风刀分别从上下两侧对基板玻璃进入吹风干燥，除去玻璃基板表面的水分。

风刀干燥箱体内部环境洁净度直接影响着玻璃基板表面颗粒物的数量及表面品质。风刀干燥箱体内的气流需从洁净度较高单元流向洁净度较低的单元，一般情况下，风刀干燥箱体内部的气流沿风刀向前下方随排气管路排出机台。

然而，风刀干燥箱体内风刀气量的变化、是否放置有基板以及排气量的变化均会引起箱体内气流的变化而引起气体扰流。气体扰流不仅会带来颗粒物，而且会引起水汽回溅，造成玻璃基板的污染。

实用新型内容

为了解决现有技术中存在的上述问题，本实用新型提供了一种基板干燥装置。本实用新型要解决的技术问题通过以下技术方案实现：

本实用新型实施例提供了一种基板干燥装置，包括箱体、第一风刀、第二风刀、若干排气阀体和若干测量件，其中，

所述箱体的一端开设有基板进口，另一端开设有基板出口；

所述第一风刀和所述第二风刀相对设置在所述箱体的内部，且所述第一风刀和所述第二风刀之间形成一缝隙，所述缝隙、所述基板进口和所述基板出口形成基板通过面以供基板通过，所述第一风刀和所述第二风刀将所述箱体内区域分割为湿区间和干区间；

若干所述排气阀体分布在所述湿区间对应的箱体上，且分布在所述基板通过面的上侧和下侧；

若干所述测量件分布在所述湿区间内与若干所述排气阀体相对应的区域，且分布在所述基板通过面的上侧、下侧和边侧。

在本实用新型的一个实施例中，若干所述排气阀体分布在所述湿区间的侧壁和底壁，且分布在侧壁上的若干所述排气阀体位于所述基板通过面的上侧。

在本实用新型的一个实施例中，所述排气阀体为可调节排气口开合状态的电动阀体。

在本实用新型的一个实施例中，若干所述排气阀体的数量为6个，分别为第一排气阀体、第二排气阀体、第三排气阀体、第四排气阀体、第五排气阀体和第六排气阀体，其中，

所述第一排气阀体和所述第二排气阀体相对地设置在所述湿区间的侧壁上且位于所述基板通过面的上侧；

所述第三排气阀体、所述第四排气阀体、所述第五排气阀体和所述第六排气阀体两两呈直线或对角线相邻地分布在所述湿区间的底壁上。

在本实用新型的一个实施例中，若干所述测量件的数量为3个，分别为第一测量件、第二测量件和第三测量件，其中，

所述第一测量件设置在所述基板通过面的上侧且设置在与所述第一排气阀体和第二排气阀体相对应的区域；