[实用新型]全自动清洗制绒上料机有效
申请号: | 201921072557.0 | 申请日: | 2019-07-10 |
公开(公告)号: | CN209880556U | 公开(公告)日: | 2019-12-31 |
发明(设计)人: | 向永富 | 申请(专利权)人: | 苏州璞智自动化科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 输送台 硅片 抓取机构 升降台 本实用新型 直线模组 分度盘 上料机 花篮 硅片加工设备 全自动清洗 缓存 机台 传送平台 定位平台 水平直线 定位块 可升降 工位 模组 上料 推块 制绒 配合 传送 | ||
1.一种全自动清洗制绒上料机,其特征是,包括机台(1)、X轴向输送台一(2)、X轴向输送台二(3)、Y轴向输送台一(4)、Y轴向输送台二(5)、升降台(6)、上下直线模组(7)、定位平台(8)、分度盘(9)、定位块(10)、水平直线模组(11)、多硅片抓取机构(12)和推块(13),所述机台(1)上固定有升降台(6)、Y轴向输送台一(4)、Y轴向输送台二(5)、上下直线模组(7)、多硅片抓取机构(12),X轴向输送台一(2)两端分别固定在升降台(6)的平台上,Y轴向输送台一(4)上设有用于穿过X轴向输送台一(2)的凹槽,X轴向输送台一(2)与X轴向输送台二(3)位于同一直线上,定位平台(8)固定在上下直线模组(7)的滑座上,定位平台(8)底端固定有水平直线模组(11),水平直线模组(11)的滑座上固定有推块(13),推块(13)穿过定位平台(8)上的穿槽,分度盘(9)滑配连接在定位平台(8)上,分度盘(9)的转盘表面均匀分布有数个用于定位花篮的定位块(10)定位平台(8)相邻的两侧分别朝向X轴向输送台二(3)的端头和Y轴向输送台二(5)的端头,多硅片抓取机构(12)的抓取部位于X轴向输送台一(2)和X轴向输送台二(3)的上方。
2.根据权利要求1所述的全自动清洗制绒上料机,其特征在于:所述多硅片抓取机构(12)由X轴直线模组(121)、Y轴气缸(122)、连接板(123)和真空吸盘(124)组成,X轴直线模组(121)的缸体固定在机台(1)上,X轴直线模组(121)的滑座上固定有Y轴气缸(122),Y轴气缸(122)的活塞杆上固定有连接板(123),连接板(123)上固定有数个排列成直线的真空吸盘(124)。
3.根据权利要求1所述的全自动清洗制绒上料机,其特征在于:所述X轴向输送台一(2)、X轴向输送台二(3)、Y轴向输送台一(4)、Y轴向输送台二(5)均为皮带输送机,皮带输送机由两个平行的台体、两条平行的皮带、数个传动轮和电机组成,台体上转动连接有数个传动轮,台体上的传动轮均贴合于皮带内圈,组成皮带输送机的两个台体相互对称,两个相互对称的台体上相对应的传动轮均通过轴杆固定连接在一起,电机的输出轴通过传动带与其中一个轴杆相连接。
4.根据权利要求3所述的全自动清洗制绒上料机,其特征在于:所述Y轴向输送台一(4)的台体上开设有两个凹槽,X轴向输送台一(2)的两个台体分别穿过Y轴向输送台一(4)的台体上的两个凹槽。
5.根据权利要求1所述的全自动清洗制绒上料机,其特征在于:所述升降台(6)由升降气缸和平板组成,升降气缸的缸体固定在机台(1)上,升降气缸的活塞杆端固定有平板,平板固定在X轴向输送台一(2)的台体底端。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造