[实用新型]全自动清洗制绒上料机有效
申请号: | 201921072557.0 | 申请日: | 2019-07-10 |
公开(公告)号: | CN209880556U | 公开(公告)日: | 2019-12-31 |
发明(设计)人: | 向永富 | 申请(专利权)人: | 苏州璞智自动化科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L31/18 |
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地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
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本实用新型涉及硅片加工设备领域,尤其是全自动清洗制绒上料机。该上料机包括机台、X轴向输送台一、X轴向输送台二、Y轴向输送台一、Y轴向输送台二、升降台、上下直线模组、定位平台、分度盘、定位块、水平直线模组、多硅片抓取机构和推块,所述机台上固定有升降台、Y轴向输送台一、Y轴向输送台二、上下直线模组、多硅片抓取机构。本实用新型通过Y轴向输送台一配合可升降的X轴向输送台一实现硅片的L形轨道运行。通过X轴向输送台二和Y轴向输送台二配合传送平台实现硅片L形轨道运行。通过分度盘来将数个花篮旋转至上料工位,将花篮内的硅片逐一传送出去。通过多硅片抓取机构来实现硅片的缓存和过渡。提高了硅片上料的效率。
技术领域
本实用新型涉及硅片加工设备领域,尤其是全自动清洗制绒上料机。
背景技术
硅片在经过一系列的加工程序之后需要进行清洗,清洗的目的是要消除吸附在硅片表面的各类污染物,并制作能够减少表面太阳光反射的绒面结构。制绒是制造晶硅电池的第一道工艺,又称“表面织构化”。有效的绒面结构使得入射光在硅片表面多次反射和折射,增加了光的吸收,降低了反射率,有助于提高电池的性能。但现有的将硅片送入清洗制绒工位的上料机构效率较低。
实用新型内容
为了解决背景技术中描述的技术问题,本实用新型提供了一种全自动清洗制绒上料机。通过Y轴向输送台一配合可升降的X轴向输送台一实现硅片的L形轨道运行。通过X轴向输送台二和Y轴向输送台二配合传送平台实现硅片L形轨道运行。通过分度盘来将数个花篮旋转至上料工位,将花篮内的硅片逐一传送出去。通过多硅片抓取机构来实现硅片的缓存和过渡。提高了硅片上料的效率。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种全自动清洗制绒上料机,包括机台、X轴向输送台一、X轴向输送台二、Y轴向输送台一、Y轴向输送台二、升降台、上下直线模组、定位平台、分度盘、定位块、水平直线模组、多硅片抓取机构和推块,所述机台上固定有升降台、Y轴向输送台一、Y轴向输送台二、上下直线模组、多硅片抓取机构,X轴向输送台一两端分别固定在升降台的平台上,Y轴向输送台一上设有用于穿过X轴向输送台一的凹槽,X轴向输送台一与X轴向输送台二位于同一直线上,定位平台固定在上下直线模组的滑座上,定位平台底端固定有水平直线模组,水平直线模组的滑座上固定有推块,推块穿过定位平台上的穿槽,分度盘滑配连接在定位平台上,分度盘的转盘表面均匀分布有数个用于定位花篮的定位块定位平台相邻的两侧分别朝向X轴向输送台二的端头和Y轴向输送台二的端头,多硅片抓取机构的抓取部位于X轴向输送台一和X轴向输送台二的上方。
具体地,所述多硅片抓取机构由X轴直线模组、Y轴气缸、连接板和真空吸盘组成,X轴直线模组的缸体固定在机台上,X轴直线模组的滑座上固定有Y轴气缸,Y轴气缸的活塞杆上固定有连接板,连接板上固定有数个排列成直线的真空吸盘。
具体地,所述X轴向输送台一、X轴向输送台二、Y轴向输送台一、Y轴向输送台二均为皮带输送机,皮带输送机由两个平行的台体、两条平行的皮带、数个传动轮和电机组成,台体上转动连接有数个传动轮,台体上的传动轮均贴合于皮带内圈,组成皮带输送机的两个台体相互对称,两个相互对称的台体上相对应的传动轮均通过轴杆固定连接在一起,电机的输出轴通过传动带与其中一个轴杆相连接。
具体地,所述Y轴向输送台一的台体上开设有两个凹槽,X轴向输送台一的两个台体分别穿过Y轴向输送台一的台体上的两个凹槽。
具体地,所述升降台由升降气缸和平板组成,升降气缸的缸体固定在机台上,升降气缸的活塞杆端固定有平板,平板固定在X轴向输送台一的台体底端。
本实用新型的有益效果是:本实用新型提供了一种全自动清洗制绒上料机。通过Y轴向输送台一配合可升降的X轴向输送台一实现硅片的L形轨道运行。通过X轴向输送台二和Y轴向输送台二配合传送平台实现硅片L形轨道运行。通过分度盘来将数个花篮旋转至上料工位,将花篮内的硅片逐一传送出去。通过多硅片抓取机构来实现硅片的缓存和过渡。提高了硅片上料的效率。
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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