[实用新型]导正型硅片插片机

权利要求书

1.一种导正型硅片插片机，其特征是，包括机台(1)、二轴机械手(2)、吸盘(3)、吹气机构(4)、传送台(5)、导正机构(6)、花篮(7)、花篮升降机构(8)、硅片升降机构(9)和分片机构(10)，所述机台(1)上安装有二轴机械手(2)、传送台(5)、导正机构(6)、分片机构(10)，二轴机械手(2)的升降端固定有吸盘(3)，二轴机械手(2)的水平移动端固定有吹气机构(4)，传送台(5)位于导正机构(6)之间，机台(1)底端固定有花篮升降机构(8)和硅片升降机构(9)，花篮升降机构(8)上定位有花篮(7)，机台(1)的台面上开设有用于穿过花篮(7)的穿口和用于穿过硅片的穿口。

2.根据权利要求1所述的导正型硅片插片机，其特征在于：所述二轴机械手(2)由X轴直线模组(21)和Y轴气缸(22)组成，X轴直线模组(21)的缸体固定在机台(1)上，X轴直线模组(21)的滑座通过支架与Y轴气缸(22)和吹气机构(4)固定在一起，Y轴气缸(22)的活塞杆端固定有吸盘(3)。

3.根据权利要求1所述的导正型硅片插片机，其特征在于：所述吹气机构(4)由腔室和喷嘴组成，腔室与喷嘴固定并连同，腔室与气泵相连通。

4.根据权利要求1所述的导正型硅片插片机，其特征在于：所述传送台(5)为皮带输送台。

5.根据权利要求1所述的导正型硅片插片机，其特征在于：所述导正机构(6)由调宽座(61)、矩形框(62)和滚轮(63)组成，调宽座(61)由缸体、正反螺纹丝杆、滚珠螺母和滑座组成，正反螺纹丝杆转动连接在缸体内，正反螺纹丝杆的正螺纹段和反螺纹段上分别螺纹连接有滚珠螺母，每个滚珠螺母的外圈上均固定有一个滑座，两个滑座均滑配连接在缸体上，正反螺纹丝杆端头固定在电机的输出轴端，调宽座(61)的缸体固定在机台(1)上，调宽座(61)的两个滑座上均固定有矩形框(62)，矩形框(62)上转动连接有数个排成一条直线的滚轮(63)，传送台(5)位于两个矩形框(62)之间。

6.根据权利要求1所述的导正型硅片插片机，其特征在于：所述花篮升降机构(8)由气缸和平台组成，平台上固定有定位花篮(7)的定位销，平台固定在气缸的活塞杆端。

7.根据权利要求1所述的导正型硅片插片机，其特征在于：所述硅片升降机构(9)由平台、挡板、气缸和顶块组成，平台的四个侧边均垂直固定有挡板，挡板固定在机台(1)的穿口边沿，气缸的活塞杆穿过平台，气缸的活塞杆端固定有顶块。

8.根据权利要求1所述的导正型硅片插片机，其特征在于：所述分片机构(10)由水平气缸(101)和风刀(102)组成，风刀(102)为矩形片，风刀(102)内设有空腔，风刀(102)内的空腔与气泵相连通，风刀(102)侧端开设有吹气口，风刀(102)固定在水平气缸(101)的活塞杆上，水平气缸(101)的缸体固定在机台(1)上。