[实用新型]全自动刻蚀下料机有效

专利信息
申请号: 201921072979.8 申请日: 2019-07-10
公开(公告)号: CN209880569U 公开(公告)日: 2019-12-31
发明(设计)人: 向永富 申请(专利权)人: 苏州璞智自动化科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 输送台 硅片 升降台 本实用新型 传动电机 传送平台 直线模组 下料机 吸板 硅片加工设备 机台 可升降 缓冲 刻蚀 下料 轴环 转轴 配合 驱动
【权利要求书】:

1.一种全自动刻蚀下料机,其特征是,包括机台(1)、X轴向输送台一(2)、X轴向输送台二(3)、Y轴向输送台一(4)、Y轴向输送台二(5)、升降台(6)、上下直线模组(7)、传送平台(8)、传动电机(9)、转轴(10)、轴环(11)和吸板(12),所述机台(1)上固定有升降台(6)、Y轴向输送台一(4)、Y轴向输送台二(5)、上下直线模组(7),X轴向输送台一(2)两端分别固定在升降台(6)的平台上,Y轴向输送台一(4)上设有用于穿过X轴向输送台一(2)的凹槽,X轴向输送台一(2)与X轴向输送台二(3)位于同一直线上,传送平台(8)固定在上下直线模组(7)的滑座上,传送平台(8)相邻的两侧分别朝向X轴向输送台二(3)的端头和Y轴向输送台二(5)的端头,转轴(10)通过支撑座转动连接在机台(1)上,转轴(10)一端通过传送带连接在传动电机(9)的输出轴上,传动电机(9)固定在机台(1)上,转轴(10)穿过并固定在轴环(11)上,轴环(11)的弧形面上均匀分布固定有数个吸板(12),吸板(12)上固定有抽气泵,抽气泵与吸板(12)的内腔相连通,吸板(12)上开设有与内腔相连通的吸孔,轴环(11)及吸板(12)位于X轴向输送台二(3)的两条皮带之间。

2.根据权利要求1所述的全自动刻蚀下料机,其特征在于:所述X轴向输送台一(2)、X轴向输送台二(3)、Y轴向输送台一(4)、Y轴向输送台二(5)均为皮带输送机,皮带输送机由两个平行的台体、两条平行的皮带、数个传动轮和电机组成,台体上转动连接有数个传动轮,台体上的传动轮均贴合于皮带内圈,组成皮带输送机的两个台体相互对称,两个相互对称的台体上相对应的传动轮均通过轴杆固定连接在一起,电机的输出轴通过传动带与其中一个轴杆相连接。

3.根据权利要求2所述的全自动刻蚀下料机,其特征在于:所述Y轴向输送台一(4)的台体上开设有两个凹槽,X轴向输送台一(2)的两个台体分别穿过Y轴向输送台一(4)的台体上的两个凹槽。

4.根据权利要求1所述的全自动刻蚀下料机,其特征在于:所述升降台(6)由升降气缸和平板组成,升降气缸的缸体固定在机台(1)上,升降气缸的活塞杆端固定有平板,平板固定在X轴向输送台一(2)的台体底端。

5.根据权利要求1所述的全自动刻蚀下料机,其特征在于:所述传送平台(8)由平台(81)、驱动电机(82)、传送带(83)和销孔(84)组成,平台(81)内转动连接有两根相互平行的转轴,每根转轴上套设并固定有两个传动轮,两个并不位于同一根转轴上的传动轮贴合在一个传送带(83)内圈上,平台(81)上开设有用于定位花篮的销孔(84),销孔(84)位于两条传送带(83)之间,驱动电机(82)的输出轴固定在其中一根转轴端头上,驱动电机(82)固定在平台(81)上,平台(81)固定在上下直线模组(7)的滑座上。

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