[实用新型]全自动刻蚀下料机有效
申请号: | 201921072979.8 | 申请日: | 2019-07-10 |
公开(公告)号: | CN209880569U | 公开(公告)日: | 2019-12-31 |
发明(设计)人: | 向永富 | 申请(专利权)人: | 苏州璞智自动化科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 输送台 硅片 升降台 本实用新型 传动电机 传送平台 直线模组 下料机 吸板 硅片加工设备 机台 可升降 缓冲 刻蚀 下料 轴环 转轴 配合 驱动 | ||
1.一种全自动刻蚀下料机,其特征是,包括机台(1)、X轴向输送台一(2)、X轴向输送台二(3)、Y轴向输送台一(4)、Y轴向输送台二(5)、升降台(6)、上下直线模组(7)、传送平台(8)、传动电机(9)、转轴(10)、轴环(11)和吸板(12),所述机台(1)上固定有升降台(6)、Y轴向输送台一(4)、Y轴向输送台二(5)、上下直线模组(7),X轴向输送台一(2)两端分别固定在升降台(6)的平台上,Y轴向输送台一(4)上设有用于穿过X轴向输送台一(2)的凹槽,X轴向输送台一(2)与X轴向输送台二(3)位于同一直线上,传送平台(8)固定在上下直线模组(7)的滑座上,传送平台(8)相邻的两侧分别朝向X轴向输送台二(3)的端头和Y轴向输送台二(5)的端头,转轴(10)通过支撑座转动连接在机台(1)上,转轴(10)一端通过传送带连接在传动电机(9)的输出轴上,传动电机(9)固定在机台(1)上,转轴(10)穿过并固定在轴环(11)上,轴环(11)的弧形面上均匀分布固定有数个吸板(12),吸板(12)上固定有抽气泵,抽气泵与吸板(12)的内腔相连通,吸板(12)上开设有与内腔相连通的吸孔,轴环(11)及吸板(12)位于X轴向输送台二(3)的两条皮带之间。
2.根据权利要求1所述的全自动刻蚀下料机,其特征在于:所述X轴向输送台一(2)、X轴向输送台二(3)、Y轴向输送台一(4)、Y轴向输送台二(5)均为皮带输送机,皮带输送机由两个平行的台体、两条平行的皮带、数个传动轮和电机组成,台体上转动连接有数个传动轮,台体上的传动轮均贴合于皮带内圈,组成皮带输送机的两个台体相互对称,两个相互对称的台体上相对应的传动轮均通过轴杆固定连接在一起,电机的输出轴通过传动带与其中一个轴杆相连接。
3.根据权利要求2所述的全自动刻蚀下料机,其特征在于:所述Y轴向输送台一(4)的台体上开设有两个凹槽,X轴向输送台一(2)的两个台体分别穿过Y轴向输送台一(4)的台体上的两个凹槽。
4.根据权利要求1所述的全自动刻蚀下料机,其特征在于:所述升降台(6)由升降气缸和平板组成,升降气缸的缸体固定在机台(1)上,升降气缸的活塞杆端固定有平板,平板固定在X轴向输送台一(2)的台体底端。
5.根据权利要求1所述的全自动刻蚀下料机,其特征在于:所述传送平台(8)由平台(81)、驱动电机(82)、传送带(83)和销孔(84)组成,平台(81)内转动连接有两根相互平行的转轴,每根转轴上套设并固定有两个传动轮,两个并不位于同一根转轴上的传动轮贴合在一个传送带(83)内圈上,平台(81)上开设有用于定位花篮的销孔(84),销孔(84)位于两条传送带(83)之间,驱动电机(82)的输出轴固定在其中一根转轴端头上,驱动电机(82)固定在平台(81)上,平台(81)固定在上下直线模组(7)的滑座上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造