[实用新型]全自动刻蚀下料机

说明书

本实用新型涉及硅片加工设备领域，尤其是全自动刻蚀下料机。该下料机包括机台、X轴向输送台一、X轴向输送台二、Y轴向输送台一、Y轴向输送台二、升降台、上下直线模组、传送平台、传动电机、转轴、轴环和吸板，所述机台上固定有升降台、Y轴向输送台一、Y轴向输送台二、上下直线模组，X轴向输送台一两端分别固定在升降台的平台上。本实用新型通过Y轴向输送台一配合可升降的X轴向输送台一实现硅片的L形轨道运行。通过X轴向输送台二和Y轴向输送台二配合传送平台实现硅片L形轨道运行。通过传动电机驱动的数个吸板的旋转，来实现硅片从X轴向输送台一到X轴向输送台二的过渡及缓冲。提高了硅片的下料效率。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工设备领域，尤其是全自动刻蚀下料机。

背景技术

刻蚀工艺是把未被抗蚀剂掩蔽的薄膜层除去，从而在薄膜上得到与抗蚀剂膜上完全相同图形的工艺。在集成电路制造过程中，经过掩模套准、曝光和显影，在抗蚀剂膜上复印出所需的图形，或者用电子束直接描绘在抗蚀剂膜上产生图形，然后把此图形精确地转移到抗蚀剂下面的氧化硅上去，制造出所需的薄层图案。而在硅片进行刻蚀加工之后需要下料。但现有的下料机效率较低。

实用新型内容

为了解决背景技术中描述的技术问题，本实用新型提供了一种全自动刻蚀下料机。通过Y轴向输送台一配合可升降的X轴向输送台一实现硅片的L形轨道运行。通过X轴向输送台二和Y轴向输送台二配合传送平台实现硅片L形轨道运行。通过传动电机驱动的数个吸板的旋转，来实现硅片从X轴向输送台一到X轴向输送台二的过渡及缓冲。提高了硅片的下料效率。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种全自动刻蚀下料机，包括机台、X轴向输送台一、X轴向输送台二、Y轴向输送台一、Y轴向输送台二、升降台、上下直线模组、传送平台、传动电机、转轴、轴环和吸板，所述机台上固定有升降台、Y轴向输送台一、Y轴向输送台二、上下直线模组，X轴向输送台一两端分别固定在升降台的平台上，Y轴向输送台一上设有用于穿过X轴向输送台一的凹槽，X轴向输送台一与X轴向输送台二位于同一直线上，传送平台固定在上下直线模组的滑座上，传送平台相邻的两侧分别朝向X轴向输送台二的端头和Y轴向输送台二的端头，转轴通过支撑座转动连接在机台上，转轴一端通过传送带连接在传动电机的输出轴上，传动电机固定在机台上，转轴穿过并固定在轴环上，轴环的弧形面上均匀分布固定有数个吸板，吸板上固定有抽气泵，抽气泵与吸板的内腔相连通，吸板上开设有与内腔相连通的吸孔，轴环及吸板位于X轴向输送台二的两条皮带之间。

具体地，所述X轴向输送台一、X轴向输送台二、Y轴向输送台一、Y轴向输送台二均为皮带输送机，皮带输送机由两个平行的台体、两条平行的皮带、数个传动轮和电机组成，台体上转动连接有数个传动轮，台体上的传动轮均贴合于皮带内圈，组成皮带输送机的两个台体相互对称，两个相互对称的台体上相对应的传动轮均通过轴杆固定连接在一起，电机的输出轴通过传动带与其中一个轴杆相连接。

具体地，所述Y轴向输送台一的台体上开设有两个凹槽，X轴向输送台一的两个台体分别穿过Y轴向输送台一的台体上的两个凹槽。

具体地，所述升降台由升降气缸和平板组成，升降气缸的缸体固定在机台上，升降气缸的活塞杆端固定有平板，平板固定在X轴向输送台一的台体底端。

具体地，所述传送平台由平台、驱动电机、传送带和销孔组成，平台内转动连接有两根相互平行的转轴，每根转轴上套设并固定有两个传动轮，两个并不位于同一根转轴上的传动轮贴合在一个传送带内圈上，平台上开设有用于定位花篮的销孔，销孔位于两条传送带之间，驱动电机的输出轴固定在其中一根转轴端头上，驱动电机固定在平台上，平台固定在上下直线模组的滑座上。