[实用新型]高效型硅片导片机有效

专利信息
申请号: 201921076652.8 申请日: 2019-07-10
公开(公告)号: CN209880570U 公开(公告)日: 2019-12-31
发明(设计)人: 向永富 申请(专利权)人: 苏州璞智自动化科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;B08B1/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 花篮 升降台 硅片 皮带输送机 皮带 本实用新型 清污机构 导片机 输送台 移动端 升降 硅片加工设备 避免污染 出片机构 进片机构 高效型 导出 导片 配合 装载 传送 申请
【权利要求书】:

1.一种高效型硅片导片机,其特征是,包括皮带输送机(1)、花篮一(2)、花篮一升降台(3)、花篮二(4)、花篮二升降台(5)、皮带清污机构(6)、出片机构(7)和进片机构(8),所述皮带输送机(1)的平台底部设有花篮一升降台(3)和花篮二升降台(5),花篮一升降台(3)的移动端上设有花篮一(2),花篮二升降台(5)的移动端上设有花篮二(4),花篮一(2)和花篮二(4)分别位于皮带输送机(1)两端,皮带输送机(1)的平台一端开设有用于穿过花篮一(2)的穿口,平台另一端开设有用于穿过花篮二(4)的穿口,皮带输送机(1)的平台两端分别固定有出片机构(7)和进片机构(8),皮带输送机(1)的平台底端安装有皮带清污机构(6)。

2.根据权利要求1所述的高效型硅片导片机,其特征在于:所述皮带输送机(1)由传动辊(11)、皮带(12)和驱动电机(13)组成,平台两端分别转动连接有传动辊(11),其中一端的传动辊(11)固定在驱动电机(13)的输出轴上,驱动电机(13)固定在平台上,两个传动辊(11)均贴合在皮带(12)内圈,平台上开设有穿槽,皮带(12)位于平台的穿槽内。

3.根据权利要求1所述的高效型硅片导片机,其特征在于:所述花篮一升降台(3)由直线模组一(31)和定位板一(32)组成,直线模组一(31)的滑座固定有定位板一(32),定位板一(32)上设有用于定位花篮一(2)的定位销。

4.根据权利要求1所述的高效型硅片导片机,其特征在于:所述花篮二升降台(5)由直线模组二(51)和定位板二(52)组成,直线模组二(51)的滑座固定有定位板二(52),定位板二(52)上设有用于定位花篮二(4)的定位销。

5.根据权利要求1所述的高效型硅片导片机,其特征在于:所述皮带清污机构(6)由转动马达(61)、锥齿轮一(62)、锥齿轮二(63)、框体(64)、固定板(65)和毛体(66)组成,框体(64)固定在皮带输送机(1)的平台底面,框体(64)的侧端固定有转动马达(61),转动马达(61)的输出轴上固定有锥齿轮一(62),锥齿轮一(62)与锥齿轮二(63)相啮合,锥齿轮二(63)转动连接在框体(64)内,锥齿轮二(63)通过支架固定在固定板(65)上,固定板(65)上固定有毛体(66),毛体(66)与皮带输送机(1)的皮带(12)相贴合。

6.根据权利要求1所述的高效型硅片导片机,其特征在于:所述出片机构(7)由出片气缸(71)和推板(72)组成,出片气缸(71)的缸体固定在皮带输送机(1)的平台上,出片气缸(71)的活塞杆端固定有推板(72)。

7.根据权利要求1所述的高效型硅片导片机,其特征在于:所述进片机构(8)由水平直线模组(81)、旋转电机(82)和板体(83)组成,水平直线模组(81)的缸体固定在皮带输送机(1)的平台底面,水平直线模组(81)的滑座上固定有旋转电机(82),旋转电机(82)的输出轴上固定有板体(83)。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州璞智自动化科技有限公司,未经苏州璞智自动化科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921076652.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top