[实用新型]高效型硅片导片机有效
申请号: | 201921076652.8 | 申请日: | 2019-07-10 |
公开(公告)号: | CN209880570U | 公开(公告)日: | 2019-12-31 |
发明(设计)人: | 向永富 | 申请(专利权)人: | 苏州璞智自动化科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;B08B1/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 花篮 升降台 硅片 皮带输送机 皮带 本实用新型 清污机构 导片机 输送台 移动端 升降 硅片加工设备 避免污染 出片机构 进片机构 高效型 导出 导片 配合 装载 传送 申请 | ||
1.一种高效型硅片导片机,其特征是,包括皮带输送机(1)、花篮一(2)、花篮一升降台(3)、花篮二(4)、花篮二升降台(5)、皮带清污机构(6)、出片机构(7)和进片机构(8),所述皮带输送机(1)的平台底部设有花篮一升降台(3)和花篮二升降台(5),花篮一升降台(3)的移动端上设有花篮一(2),花篮二升降台(5)的移动端上设有花篮二(4),花篮一(2)和花篮二(4)分别位于皮带输送机(1)两端,皮带输送机(1)的平台一端开设有用于穿过花篮一(2)的穿口,平台另一端开设有用于穿过花篮二(4)的穿口,皮带输送机(1)的平台两端分别固定有出片机构(7)和进片机构(8),皮带输送机(1)的平台底端安装有皮带清污机构(6)。
2.根据权利要求1所述的高效型硅片导片机,其特征在于:所述皮带输送机(1)由传动辊(11)、皮带(12)和驱动电机(13)组成,平台两端分别转动连接有传动辊(11),其中一端的传动辊(11)固定在驱动电机(13)的输出轴上,驱动电机(13)固定在平台上,两个传动辊(11)均贴合在皮带(12)内圈,平台上开设有穿槽,皮带(12)位于平台的穿槽内。
3.根据权利要求1所述的高效型硅片导片机,其特征在于:所述花篮一升降台(3)由直线模组一(31)和定位板一(32)组成,直线模组一(31)的滑座固定有定位板一(32),定位板一(32)上设有用于定位花篮一(2)的定位销。
4.根据权利要求1所述的高效型硅片导片机,其特征在于:所述花篮二升降台(5)由直线模组二(51)和定位板二(52)组成,直线模组二(51)的滑座固定有定位板二(52),定位板二(52)上设有用于定位花篮二(4)的定位销。
5.根据权利要求1所述的高效型硅片导片机,其特征在于:所述皮带清污机构(6)由转动马达(61)、锥齿轮一(62)、锥齿轮二(63)、框体(64)、固定板(65)和毛体(66)组成,框体(64)固定在皮带输送机(1)的平台底面,框体(64)的侧端固定有转动马达(61),转动马达(61)的输出轴上固定有锥齿轮一(62),锥齿轮一(62)与锥齿轮二(63)相啮合,锥齿轮二(63)转动连接在框体(64)内,锥齿轮二(63)通过支架固定在固定板(65)上,固定板(65)上固定有毛体(66),毛体(66)与皮带输送机(1)的皮带(12)相贴合。
6.根据权利要求1所述的高效型硅片导片机,其特征在于:所述出片机构(7)由出片气缸(71)和推板(72)组成,出片气缸(71)的缸体固定在皮带输送机(1)的平台上,出片气缸(71)的活塞杆端固定有推板(72)。
7.根据权利要求1所述的高效型硅片导片机,其特征在于:所述进片机构(8)由水平直线模组(81)、旋转电机(82)和板体(83)组成,水平直线模组(81)的缸体固定在皮带输送机(1)的平台底面,水平直线模组(81)的滑座上固定有旋转电机(82),旋转电机(82)的输出轴上固定有板体(83)。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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