[实用新型]高效型硅片导片机

说明书

本实用新型涉及硅片加工设备领域，尤其是高效型硅片导片机。该导片机包括皮带输送机、花篮一、花篮一升降台、花篮二、花篮二升降台、皮带清污机构、出片机构和进片机构，所述皮带输送机的平台底部设有花篮一升降台和花篮二升降台，花篮一升降台的移动端上设有花篮一，花篮二升降台的移动端上设有花篮二。本实用新型通过皮带输送机进行硅片的传送。通过花篮一升降台驱使花篮一进行升降，从而可以配合输送台，将花篮一内的硅片导出。通过花篮二升降台驱使花篮二进行升降，从而可以配合输送台，将输送过来的硅片全部装载到花篮二内。通过皮带清污机构清理皮带上的污物，从而避免污染硅片。本申请提高了硅片导片的效率。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工设备领域，尤其是高效型硅片导片机。

背景技术

硅片在加工运输的过程中，需要将硅片从一个花篮内，传送到另一个花篮内。但是现有的硅片导片的效率较低。

实用新型内容

为了解决背景技术中描述的技术问题，本实用新型提供了一种高效型硅片导片机。通过皮带输送机进行硅片的传送。通过花篮一升降台驱使花篮一进行升降，从而可以配合输送台，将花篮一内的硅片导出。通过花篮二升降台驱使花篮二进行升降，从而可以配合输送台，将输送过来的硅片全部装载到花篮二内。通过皮带清污机构清理皮带上的污物，从而避免污染硅片。本申请提高了硅片导片的效率。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种高效型硅片导片机，包括皮带输送机、花篮一、花篮一升降台、花篮二、花篮二升降台、皮带清污机构、出片机构和进片机构，所述皮带输送机的平台底部设有花篮一升降台和花篮二升降台，花篮一升降台的移动端上设有花篮一，花篮二升降台的移动端上设有花篮二，花篮一和花篮二分别位于皮带输送机两端，皮带输送机的平台一端开设有用于穿过花篮一的穿口，平台另一端开设有用于穿过花篮二的穿口，皮带输送机的平台两端分别固定有出片机构和进片机构，皮带输送机的平台底端安装有皮带清污机构。

具体地，所述皮带输送机由传动辊、皮带和驱动电机组成，平台两端分别转动连接有传动辊，其中一端的传动辊固定在驱动电机的输出轴上，驱动电机固定在平台上，两个传动辊均贴合在皮带内圈，平台上开设有穿槽，皮带位于平台的穿槽内。

具体地，所述花篮一升降台由直线模组一和定位板一组成，直线模组一的滑座固定有定位板一，定位板一上设有用于定位花篮一的定位销。

具体地，所述花篮二升降台由直线模组二和定位板二组成，直线模组二的滑座固定有定位板二，定位板二上设有用于定位花篮二的定位销。

具体地，所述皮带清污机构由转动马达、锥齿轮一、锥齿轮二、框体、固定板和毛体组成，框体固定在皮带输送机的平台底面，框体的侧端固定有转动马达，转动马达的输出轴上固定有锥齿轮一，锥齿轮一与锥齿轮二相啮合，锥齿轮二转动连接在框体内，锥齿轮二通过支架固定在固定板上，固定板上固定有毛体，毛体与皮带输送机的皮带相贴合。

具体地，所述出片机构由出片气缸和推板组成，出片气缸的缸体固定在皮带输送机的平台上，出片气缸的活塞杆端固定有推板。

具体地，所述进片机构由水平直线模组、旋转电机和板体组成，水平直线模组的缸体固定在皮带输送机的平台底面，水平直线模组的滑座上固定有旋转电机，旋转电机的输出轴上固定有板体。

本实用新型的有益效果是：本实用新型提供了一种高效型硅片导片机。通过皮带输送机进行硅片的传送。通过花篮一升降台驱使花篮一进行升降，从而可以配合输送台，将花篮一内的硅片导出。通过花篮二升降台驱使花篮二进行升降，从而可以配合输送台，将输送过来的硅片全部装载到花篮二内。通过皮带清污机构清理皮带上的污物，从而避免污染硅片。本申请提高了硅片导片的效率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。