[实用新型]一种用于刻蚀设备的进气装置

权利要求书

1.一种用于刻蚀设备的进气装置，其特征在于，包括进气座，所述进气座内设有主气道以及引流气道，主气道的一端设有第一进气端；主气道的另一端设有出气端；引流气道的一端设有第二进气端，所述引流气道的另一端为盲端；所述第一进气端用于与外部供气管路连通；出气端与第二进气端连通；所述引流气道在进气座由进气座的中心呈非直线状态延伸至进气座的边缘；所述引流气道设有多个气孔；多个气孔在引流气道的延伸方向上间隔分布。

2.如权利要求1所述的用于刻蚀设备的进气装置，其特征在于，所述引流气道绕进气座的中心呈螺旋状延伸。

3.如权利要求2所述的用于刻蚀设备的进气装置，其特征在于，所述引流气道包括多个环形气段，多个环形气段在进气座的径向上依次间隔分布；其中环形半径最小的环形气段的进气端形成为所述第二进气端；环形半径最大的环形气段具有所述盲端；多个环形气段相互衔接并呈所述螺旋状分布。

4.如权利要求1所述的用于刻蚀设备的进气装置，其特征在于，所述气孔设有倒角；且气孔的内径以抛光工艺进行加工。

5.如权利要求1所述的用于刻蚀设备的进气装置，其特征在于，所述气孔的直径为0.2mm-1mm。

6.如权利要求1所述的用于刻蚀设备的进气装置，其特征在于，所述引流气道的直径为40mm-500mm。

7.如权利要求1所述的用于刻蚀设备的进气装置，其特征在于，进气座上固接有进气管道；所述进气管道的进气口用于与外部供气管路连通；进气管道的出气口与所述第一进气端连通。