[实用新型]一种外延炉固定安装用底座有效
申请号: | 201921081613.7 | 申请日: | 2019-07-11 |
公开(公告)号: | CN211570836U | 公开(公告)日: | 2020-09-25 |
发明(设计)人: | 沈恒文;林旭斌;金修领;吉双平;郝小峰;刘彤辉 | 申请(专利权)人: | 江苏艾匹克半导体设备有限公司 |
主分类号: | C30B31/00 | 分类号: | C30B31/00;F27B17/00;H01L21/67 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 黄冠华 |
地址: | 214000 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 外延 固定 安装 底座 | ||
1.一种外延炉固定安装用底座,包括外延炉(1),其特征在于:所述外延炉(1)底部的两侧均固定连接有固定杆(2),所述外延炉(1)的底部设置有底座(3),所述底座(3)顶部的两侧均开设有固定槽(4),所述固定杆(2)的底部延伸至固定槽(4)的内部,所述固定杆(2)的内侧开设有卡槽(5),所述底座(3)内部的两侧均竖向固定连接有滑杆(6),所述滑杆(6)的表面滑动连接有滑环(7),所述滑环(7)的内侧固定连接有连接板(8),所述连接板(8)的顶部固定连接有弹簧(9),所述弹簧(9)的顶部与底座(3)内壁的顶部固定连接,所述连接板(8)的正面固定连接有提升杆(10),所述滑环(7)的外侧固定连接有升降板(11),所述升降板(11)的正面固定连接有传动杆(12),所述底座(3)内壁顶部和底部的两侧均开设有滑槽(13),所述滑槽(13)的内部滑动连接有滑块(14),所述滑块(14)的内侧固定连接有移动板(15),所述移动板(15)的内侧固定连接有与传动杆(12)配合使用的斜孔板(16),所述移动板(15)外侧的顶部固定连接有卡杆(17),所述卡杆(17)远离移动板(15)的一端贯穿底座(3)并延伸至卡槽(5)的内部。
2.根据权利要求1所述的一种外延炉固定安装用底座,其特征在于:所述底座(3)顶部的两侧且位于固定槽(4)的外侧均固定连接有限位垫(18),所述限位垫(18)的顶部与外延炉(1)的底部接触。
3.根据权利要求1所述的一种外延炉固定安装用底座,其特征在于:所述滑杆(6)表面的底部固定连接有限位环(19),所述限位环(19)的顶部与滑环(7)的底部接触。
4.根据权利要求1所述的一种外延炉固定安装用底座,其特征在于:所述提升杆(10)的前端贯穿至底座(3)的外部固定连接有圆盘(20),所述圆盘(20)的表面设置有防滑纹。
5.根据权利要求1所述的一种外延炉固定安装用底座,其特征在于:所述滑槽(13)的槽型为梯形,所述滑块(14)的横截面为梯形,所述滑块(14)与滑槽(13)配合使用。
6.根据权利要求1所述的一种外延炉固定安装用底座,其特征在于:所述升降板(11)位于斜孔板(16)的后侧,所述传动杆(12)的前端延伸至斜孔板(16)的内部,所述传动杆(12)的表面与斜孔板(16)的内壁滑动连接。
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