[实用新型]一种外延炉固定安装用底座有效
申请号: | 201921081613.7 | 申请日: | 2019-07-11 |
公开(公告)号: | CN211570836U | 公开(公告)日: | 2020-09-25 |
发明(设计)人: | 沈恒文;林旭斌;金修领;吉双平;郝小峰;刘彤辉 | 申请(专利权)人: | 江苏艾匹克半导体设备有限公司 |
主分类号: | C30B31/00 | 分类号: | C30B31/00;F27B17/00;H01L21/67 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 黄冠华 |
地址: | 214000 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 外延 固定 安装 底座 | ||
本实用新型公开了一种外延炉固定安装用底座,包括外延炉,所述外延炉底部的两侧均固定连接有固定杆,所述外延炉的底部设置有底座,所述底座顶部的两侧均开设有固定槽,所述固定杆的底部延伸至固定槽的内部,所述固定杆的内侧开设有卡槽,所述底座内部的两侧均竖向固定连接有滑杆。本实用新型通过设置外延炉、固定杆、底座、固定槽、卡槽、滑杆、滑环、连接板、弹簧、提升杆、升降板、传动杆、滑槽、滑块、移动板、斜孔板和卡杆的配合使用,解决了现有的外延炉固定安装用底座安装时操作繁琐的问题,该外延炉固定安装用底座,具备便于安装的优点,节省了使用者大量的时间,提高了外延炉固定安装用底座的实用性。
技术领域
本实用新型涉及外延炉设备技术领域,具体为一种外延炉固定安装用底座。
背景技术
半导体,指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用,如二极管就是采用半导体制作的器件,半导体是指一种导电性可受控制,范围可从绝缘体至导体之间的材料。
半导体在加工时需要用到外延炉,外延炉是半导体生产加工的一种设备,外延炉使用前需要将其固定安装,但是,现有的外延炉固定安装用底座安装时操作繁琐,浪费了使用者大量的时间,降低了外延炉固定安装用底座的实用性。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种外延炉固定安装用底座,具备便于安装的优点,解决了现有的外延炉固定安装用底座安装时操作繁琐的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种外延炉固定安装用底座,包括外延炉,所述外延炉底部的两侧均固定连接有固定杆,所述外延炉的底部设置有底座,所述底座顶部的两侧均开设有固定槽,所述固定杆的底部延伸至固定槽的内部,所述固定杆的内侧开设有卡槽,所述底座内部的两侧均竖向固定连接有滑杆,所述滑杆的表面滑动连接有滑环,所述滑环的内侧固定连接有连接板,所述连接板的顶部固定连接有弹簧,所述弹簧的顶部与底座内壁的顶部固定连接,所述连接板的正面固定连接有提升杆,所述滑环的外侧固定连接有升降板,所述升降板的正面固定连接有传动杆,所述底座内壁顶部和底部的两侧均开设有滑槽,所述滑槽的内部滑动连接有滑块,所述滑块的内侧固定连接有移动板,所述移动板的内侧固定连接有与传动杆配合使用的斜孔板,所述移动板外侧的顶部固定连接有卡杆,所述卡杆远离移动板的一端贯穿底座并延伸至卡槽的内部。
优选的,所述底座顶部的两侧且位于固定槽的外侧均固定连接有限位垫,所述限位垫的顶部与外延炉的底部接触。
优选的,所述滑杆表面的底部固定连接有限位环,所述限位环的顶部与滑环的底部接触。
优选的,所述提升杆的前端贯穿至底座的外部固定连接有圆盘,所述圆盘的表面设置有防滑纹。
优选的,所述滑槽的槽型为梯形,所述滑块的横截面为梯形,所述滑块与滑槽配合使用。
优选的,所述升降板位于斜孔板的后侧,所述传动杆的前端延伸至斜孔板的内部,所述传动杆的表面与斜孔板的内壁滑动连接。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:
1、本实用新型通过设置外延炉、固定杆、底座、固定槽、卡槽、滑杆、滑环、连接板、弹簧、提升杆、升降板、传动杆、滑槽、滑块、移动板、斜孔板和卡杆的配合使用,解决了现有的外延炉固定安装用底座安装时操作繁琐的问题,该外延炉固定安装用底座,具备便于安装的优点,节省了使用者大量的时间,提高了外延炉固定安装用底座的实用性。
2、本实用新型通过设置限位垫,能够对外延炉的位置进行限制,防止外延炉移动,通过设置限位环,能够对滑环下降的位置进行限制,防止滑环与滑杆分离,通过设置圆盘,能够增加使用者手部与提升杆的接触面积,便于使用者通过圆盘提升提升杆,通过设置滑槽和滑块,能够增加移动板移动的稳定性,防止移动板移动时倾斜。
附图说明
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