[实用新型]一种外延炉翻新加工用打磨装置有效
申请号: | 201921081991.5 | 申请日: | 2019-07-11 |
公开(公告)号: | CN210524702U | 公开(公告)日: | 2020-05-15 |
发明(设计)人: | 沈恒文;林旭斌;金修领;吉双平;郝小峰;刘彤辉 | 申请(专利权)人: | 江苏艾匹克半导体设备有限公司 |
主分类号: | B24B19/00 | 分类号: | B24B19/00;B24B55/06;B24B41/02;B24B41/00 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 黄冠华 |
地址: | 214000 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 外延 翻新 工用 打磨 装置 | ||
1.一种外延炉翻新加工用打磨装置,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的顶部固定连接有传动箱(2),所述传动箱(2)顶部的左侧固定连接有控制柱(3),所述控制柱(3)右侧的顶部固定连接有打磨装置(4),所述传动箱(2)右侧的顶部固定连接有风机(5),所述风机(5)的输出端连通有吸尘管(6),所述吸尘管(6)远离风机(5)的一侧连通有集尘罩(7),所述风机(5)的输入端连通有排尘管(8),所述传动箱(2)内腔右侧的底部固定连接有电机(9),所述电机(9)的输出端固定连接有螺柱(10),所述螺柱(10)的表面螺纹连接有螺块(11),所述螺块(11)的底部固定连接有滑杆(12),所述滑杆(12)的底部与传动箱(2)的内壁滑动连接,所述螺块(11)的顶部固定连接有连接杆(13),所述连接杆(13)的顶部通过转轴活动连接有滑轮(14),所述滑轮(14)的顶部设置有梯形块(15),所述梯形块(15)的底部开设有滑轨(16),所述滑轮(14)的顶部滑动连接在滑轨(16)的内部,所述梯形块(15)的顶部固定连接有移动板(17),所述移动板(17)的两侧均固定连接有限位块(18),所述限位块(18)的外侧与传动箱(2)的内壁滑动连接,所述移动板(17)顶部的右侧固定连接有活动柱(19),所述活动柱(19)的顶部贯穿至传动箱(2)的顶部并与吸尘管(6)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种外延炉翻新加工用打磨装置,其特征在于:所述移动板(17)顶部的两侧且位于活动柱(19)的左侧均固定连接有弹簧(20),所述弹簧(20)的顶部与传动箱(2)的内壁固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种外延炉翻新加工用打磨装置,其特征在于:所述传动箱(2)内腔的两侧均开设有滑槽一(21),所述限位块(18)的外侧滑动连接在滑槽一(21)的内壁。
4.根据权利要求1所述的一种外延炉翻新加工用打磨装置,其特征在于:所述传动箱(2)内腔底部的左侧开设有滑槽二(22),所述滑杆(12)的底部滑动连接在滑槽二(22)的内部。
5.根据权利要求1所述的一种外延炉翻新加工用打磨装置,其特征在于:所述传动箱(2)内腔左侧的底部固定连接有轴承(23),所述螺柱(10)的左侧活动连接在轴承(23)的内部。
6.根据权利要求1所述的一种外延炉翻新加工用打磨装置,其特征在于:所述电机(9)的型号为Y100L-6。
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